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J-GLOBAL ID：201902261689568810   整理番号：19A1042747

モリブデンドープCrN被覆の形態,光誘電及び機械的挙動に及ぼす焼なましの影響の研究【JST・京大機械翻訳】

Studies of annealing impact on the morphological, opto-dielectric and mechanical behaviors of molybdenum-doped CrN coatings

著者 (17件)： Rahman M. Mahbubur (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering & Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia) ,  Rahman M. Mahbubur (Department of Physics, Jahangirnagar University, Savar, Dhaka 1342, Bangladesh) ,  Ibrahim Khalil (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering & Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia) ,  Ibrahim Khalil (Karbala Technical Institute, Al-Furat Al-Awsat Technical University, Karbala 56001, Iraq) ,  Taha Hatem (Department of Physics, College of Education for Pure Science, Ibn Al-Haitham, University of Baghdad, Baghdad 10071, Iraq) ,  Amri Amun (Department of Chemical Engineering, Universitas Riau, Pekanbaru, Indonesia) ,  Zhao Xiaoli (School of Engineering, Edith Cowan University, Joondalup, WA 6027, Australia) ,  Kabir Humayun (Department of Physics, Jahangirnagar University, Savar, Dhaka 1342, Bangladesh) ,  Moh T.S.Y. (School of Engineering and Technology, University College of Technology Sarawak, 868 Persiaran Brooke, 96000 Sibu, Sarawak, Malaysia) ,  Ahmed Bouraire (Department of Mechanical Engineering, Al-Furat Al-Ausat Technical University, Najaf, Kufa, Iraq) ,  Zhou Zhi-feng (Department of Mechanical and Biomedical Engineering, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong, China) ,  Azis Raba’ah Syahidah (Department of Physics, Faculty of Science, Universiti Putra Malaysia, 43400 Serdang, Selangor, Malaysia) ,  Azis Raba’ah Syahidah (Material Synthesis and Characterization Laboratory (MSCL), Institute of Advanced Technology (ITMA), Universiti Putra Malaysia, 43400 Serdang, Selangor, Malaysia) ,  Hossain Md Abul (Department of Physics, Jahangirnagar University, Savar, Dhaka 1342, Bangladesh) ,  Altarawneh Mohammednoor (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering & Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia) ,  Altarawneh Mohammednoor (Chemical Engineering Department, Al-Hussein Bin Talal University, Ma’an, Jordan) ,  Jiang Zhong-Tao (Surface Analysis and Materials Engineering Research Group, School of Engineering & Information Technology, Murdoch University, Perth, WA 6150, Australia)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 677  ページ： 119-129  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,100°Cのステップで500~800°Cで堆積したままおよびアニールした条件で,不平衡マグネトロンスパッタリングによりシリコン基板上に蒸着したモリブデンをドープした窒化クロム被覆を研究し,それらの温度依存構造,形態,光学および機械的挙動を明らかにした。これらの特徴の解析を,X線回折(XRD),電界放出走査電子顕微鏡(FESEM),紫外可視(UV-Vis)分光法,ナノインデンテーションおよび有限要素モデリング(FEM)技術を用いて行った。XRDの結果は,アニーリング温度が上昇するにつれて(111)および(200)回折面に沿ったモリブデン(Mo)ドープ窒化クロム(CrN)被覆の結晶性の著しい改善を示した。格子定数は温度が上昇すると4.20から4.12Åに徐々に減少した。格子微小歪と残留応力についても同じ傾向が観察された。滑らかな粒状表面がFESEM画像技術により観察された。700°Cのアニーリング温度では,Mo:CrN膜のスペクトル吸収率はピーク値(86%)に達したが,エネルギーバンドギャップは2.48から1.14eVに減少した。これらの被覆の複素誘電率,Urbachエネルギー値,および急峻性パラメータなどの他の光学パラメータも議論した。堆積したままのMo:CrN膜の硬度と弾性率はそれぞれ18.4と287GPaと推定された。1.0μmの膜厚で,20GPaの最大応力を,膜と基板間の界面でのFEM研究により評価した。膜厚が増大すると,応力レベルは低下した。より高いアニーリング温度では,MoドープCrN被覆の機械的硬度(H)と弾性係数(E)の両方が低下した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  硬度 ,  X線回折分析 ,  膜厚 ,  *ドーピング ,  *形態 ,  温度依存性 ,  *焼なまし ,  X線回折 ,  *モリブデン ,  *被覆 ,  基板 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  窒化クロム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： アニーリング温度 ,  モリブデンドープ窒化クロム ,  薄膜コーティング ,  格子定数 ,  残留応力 ,  太陽吸収率 ,  光学バンドギャップ ,  硬さ

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： モリブデン ,  ドープ ,  形態 ,  機械的挙動 ,  焼なまし ,  研究