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J-GLOBAL ID：201902262596850662   整理番号：19A0030062

傾斜角蒸着法による透明導電性ナノカラムのアゾ膜コーティング【JST・京大機械翻訳】

Transparent conductive nanocolumnar AZO film coating by glancing angle deposition technique

著者 (8件)： Seawsakul Kittikhun (School of Physics-Institute of Science, Suranaree University of Technology Muang, Nakhon Ratchasima, 30000 Thailand) ,  Horprathum Mati (Optical Thin-Film Technology Laboratory, National Electronics and Computer Technology Center, Pathum Thani, 12120, Thailand) ,  Eiamchai Pitak (Optical Thin-Film Technology Laboratory, National Electronics and Computer Technology Center, Pathum Thani, 12120, Thailand) ,  Pattantsetakul Viyapol (Optical Thin-Film Technology Laboratory, National Electronics and Computer Technology Center, Pathum Thani, 12120, Thailand) ,  Limwichean Saksorn (Optical Thin-Film Technology Laboratory, National Electronics and Computer Technology Center, Pathum Thani, 12120, Thailand) ,  Muthitamongkol Pennapa (National Metal and Materials Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120 Thailand) ,  Thanachayanont Chanchana (National Metal and Materials Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120 Thailand) ,  Songsiriritthigul Prayoon (School of Physics-Institute of Science, Suranaree University of Technology Muang, Nakhon Ratchasima, 30000 Thailand)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2010  号： 1  ページ： 020017-020017-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,全方向性反射防止特性を有する透明導電性酸化物(TCO)膜を作製するために,すれすれ角堆積(GLAD)によりナノ柱状アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)膜を堆積した。異なるスパッタリング出力で調製したナノ柱状AZO膜の結晶構造,形態,光学的及び電気的性質を,X線回折,電界放出走査電子顕微鏡,角度依存性技術及びホール測定によるUV-Vis-NIR分光測光により特性化した。結果から,XRD測定は,膜がナノ柱状構造であることを明らかにした。ナノ柱状AZO膜の可視領域における平均透過率は82~86%の範囲であった。さらに,厚さ190nmの75Wで堆積したナノ柱状AZO膜は,-80°~80°の入射角範囲で5.8×10~-3Ωcmの低い抵抗率と高い光透過率を示した。さらに,このようなナノ柱状AZO膜は,太陽電池およびオプトエレクトロニクス応用のための全方向反射防止被覆を有するTCOとしても有望である。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  反射防止膜 ,  *被覆 ,  結晶構造 ,  酸化亜鉛 ,  透過率 ,  太陽電池 ,  キャラクタリゼーション ,  入射角 ,  *導電性 ,  オプトエレクトロニクス ,  X線回折
準シソーラス用語： 光透過率 ,  可視領域 ,  全方向 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 傾斜角蒸着 ,  導電性 ,  ナノカラム ,  コーティング