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J-GLOBAL ID：201902263451228956   整理番号：19A1415138

走査型熱顕微鏡により明らかにされた懸濁シリコン膜における自然酸化物制限交差面熱輸送【JST・京大機械翻訳】

Native-oxide limited cross-plane thermal transport in suspended silicon membranes revealed by scanning thermal microscopy

著者 (6件)： Massoud A. M. (Univ. Lyon, Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), CNRS, INSA de Lyon, F-69621 Villeurbanne, France) ,  Bluet J.-M. (Univ. Lyon, Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), CNRS, INSA de Lyon, F-69621 Villeurbanne, France) ,  Lacatena V. (Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Univ. Valenciennes, UMR 8520-IEMN, F-59000 Lille, France) ,  Haras M. (Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Univ. Valenciennes, UMR 8520-IEMN, F-59000 Lille, France) ,  Robillard J.-F. (Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, Univ. Valenciennes, UMR 8520-IEMN, F-59000 Lille, France) ,  Chapuis P.-O. (Univ. Lyon, CNRS, INSA-Lyon, Universite Claude Bernard Lyon 1, CETHIL UMR5008, F-69621 Villeurbanne, France)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 6  ページ： 063106-063106-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周囲条件において種々のマイクロメートル長さを持つナノメータ薄い懸濁シリコン膜を熱的に特性化することにより,(285nm)~2の面積をプローブするWollastonプローブ走査熱顕微鏡実験の空間分解能と40W.m~-1K~-1の膜の有効熱伝導率を同時に決定した。この値は真空中での他の技術(~60Wm~-1K~-1)を用いて測定した面内熱伝導率より小さく,交差面と面内熱伝導の両方が周囲条件における自然酸化物により強く影響されることを明らかにした。本研究は,マイクロパターン化したとき,高熱伝導率試料が走査型熱顕微鏡により特性化できることを示した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  熱伝導 ,  *懸濁液 ,  プローブ ,  熱伝導率 ,  空間分解能 ,  *走査
準シソーラス用語： マイクロパターン ,  有効熱伝導率 ,  *熱輸送 ,  *走査型熱顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 走査型熱顕微鏡 ,  懸濁 ,  シリコン膜 ,  自然酸化物 ,  制限 ,  交差 ,  熱輸送