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J-GLOBAL ID：201902263989944398   整理番号：19A2693258

水素化非晶質炭素被覆の水素存在状態とその熱安定性【JST・京大機械翻訳】

Hydrogen existence state of a hydrogenated amorphous carbon coating and its thermal stability

著者 (5件)： Peng Jihua (School of Materials Science and Engineering, South China University of Technology, 381 Wushan, Guangzhou 510640, China) ,  Yang Manzhong (School of Materials Science and Engineering, South China University of Technology, 381 Wushan, Guangzhou 510640, China) ,  Bi Jun (School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, 381 Wushan, Guangzhou 510640, China) ,  Sheng Ruida (School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, 381 Wushan, Guangzhou 510640, China) ,  Li Liejun (School of Mechanical and Automotive Engineering, South China University of Technology, 381 Wushan, Guangzhou 510640, China)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 99  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素化非晶質炭素(a-C:H)被覆を,740Vのバイアス電圧でプラズマ増強化学蒸着により蒸着した。被覆316L試料を5Paアルゴン媒体中でアニールした。被覆の水素含有量,化学結合構造および形態,およびアニーリング中のそれらの進展を,それぞれ,弾性反跳検出分析,質量分析,Fourier変換赤外分光法,Raman分光法およびX線光電子分光法によって特性化した。水素化a-C:H被覆は約50at%の水素を有することが分かった。しかしながら,水素の大部分はおそらく水素分子の形で存在し,そのいくつかはいくつかの「閉じた」ボイドにカプセル化されていた。明らかに,この特殊な構造は,高いH含有量でa-C:H中のsp3CC分率を改善する有効な方法である。分子状水素は,490°C以下でのアニーリング中に「閉じた」ボイド中に安定に留まることができた。特定の構造を有するこれらのa-C:H被覆に対して,330°C以下でアニールすると,C sp3からsp2への変換はa-C:H被覆におけるいわゆる活性なCH結合反応によって制御された。330°C以上でアニールすると,これらの活性なCH結合は急速に枯渇し,炭素クラスタは成長し始めた。>490°Cのアニーリング温度で,Csp3からCsp2への急速な変換は,エネルギー障壁を克服することにより誘起されたC sp3結合切断と原子再配列に起因した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Raman分光法 ,  化学結合 ,  高速度 ,  *非晶質 ,  プラズマCVD ,  FTIR分光法 ,  *水素化 ,  *熱安定性 ,  X線光電子分光法 ,  焼なまし ,  *被覆 ,  *水素 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  *アモルファスカーボン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 水素化非晶質炭素 ,  熱安定性 ,  水素存在状態 ,  微細形態学 ,  化学結合構造

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素化 ,  非晶質炭素 ,  水素 ,  熱安定性