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J-GLOBAL ID：201902264032468239   整理番号：19A2246339

黒鉛ターゲットスパッタリング時間がTa-Cコーティングの性能に及ぼす影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Sputtering Time of Graphite Target on Properties of Ta-C Coating

著者 (4件)： Huang Biao (上海応用技術大学,上海物理气相沈積(PVD)超硬塗層及装備工程技術研究中心,上海201418) ,  Zhang Ergeng (上海応用技術大学,上海物理气相沈積(PVD)超硬塗層及装備工程技術研究中心,上海201418) ,  Zhou Qiong (上海応用技術大学,上海物理气相沈積(PVD)超硬塗層及装備工程技術研究中心,上海201418) ,  Chen Yongkang (上海応用技術大学,上海物理气相沈積(PVD)超硬塗層及装備工程技術研究中心,上海201418)
資料名： Taoci Xuebao  (Taoci Xuebao)
巻： 40  号： 3  ページ： 318-324  発行年： 2019年 
JST資料番号： C3674A  ISSN： 1000-2278  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： YG10超硬合金基板上にパルスマグネトロンスパッタリングによりTa-C(Tetrahedralamorphouscarbon)コーティングを作製し、黒鉛ターゲットスパッタリング時間を制御することにより、異なる性能のTa-Cコーティングを調製し、走査顕微鏡とスキャン顕微鏡を採用した。Ta-Cコーティングの表面モルホロジー,硬度,およびsp3とsp2の割合を,ナノインデンテーションとラマン分光器によって分析し,Ta-C被覆フライス加工の3つの典型的パラメータを選択して,乾燥フライス加工2A50アルミニウム合金の実験を行い,黒鉛ターゲットのスパッタリング時間で調製したTa-Cコーティングの優劣を検証した。結果は以下を示した。黒鉛ターゲットのスパッタリング時間が40分から80分まで徐々に増加するにつれて,Ta-Cコーティングの表面モルホロジー,硬度,sp3含有量,および切削性能は,最初に増加して,次に減少し,そして,黒鉛ターゲットのスパッタリング時間55分で調製したTa-Cコーティングの総合的特性は,最良であった。硬度は86.9GPaに達し,sp3含有量は高かった。グラファイトターゲットの異なるスパッタリング時間で調製したTa-Cコーティングの表面形態、硬度及びsp3とsp2の割合には大きな差があり、適切なスパッタリング時間を選んでTa-Cコーティング工作物を調製することは非常に重要であるが、本研究の研究では、黒鉛ターゲットスパッタリング55minで調製したTa-Cコーティングは総合的な性能が最適である。寿命は最長で,切削性能は最良であった。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  ナノインデンテーション ,  *スパッタリング ,  硬度 ,  Raman分光法 ,  パルス ,  超硬合金 ,  *被覆 ,  走査 ,  工作物 ,  アルミニウム合金 ,  基板 ,  フライス加工 ,  *グラファイト
準シソーラス用語： 表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 黒鉛 ,  ターゲット ,  スパッタリング ,  コーティング