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J-GLOBAL ID：201902264265228898   整理番号：19A2101377

材料:シリコンとそれを超えて【JST・京大機械翻訳】

Materials: Silicon and beyond

著者 (2件)： Ando Taeko (Department of Mechanical Engineering, Ritsumeikan University, Japan) ,  Fu Xiao-An (Department of Chemical Engineering, University of Louisville, Kentucky, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 296  ページ： 340-351  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSデバイスを構築するために用いられる材料は,構造材料特性が製造プロセスを決定し,デバイス性能を支配するので,重要である。初期MEMS材料は集積回路(IC)産業のための成熟Si微細加工技術に基づいているが,MEMS構造材料として多くの新しい材料が開発されており,シリコンでは達成できない種々の応用の要求を満たしている。これらの応用には,高温と過酷な環境,無線通信,光センシング,および生物医学分野のためのセンサとアクチュエータが含まれている。本論文では,一般的なMEMS構造材料,特性,調製方法,製造プロセスおよび重要なデバイス応用について簡単にレビューした。本レビューでカバーした材料は,ケイ素, ゲルマニウム, ケイ素炭化物,ダイヤモンドおよびダイヤモンド状薄膜,III-V化合物半導体,金属および高分子材料を含む。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： センサ ,  無線伝送 ,  集積回路 ,  MEMS ,  炭化ケイ素 ,  高温 ,  DLC膜 ,  ダイヤモンド ,  ゲルマニウム ,  構造材料 ,  アクチュエータ ,  生産工程 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： 生物医学 ,  材料特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： MEMS ,  構造材料 ,  シリコン ,  SiC ,  ダイヤモンド ,  高分子

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (1件)： シリコン