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J-GLOBAL ID:201902264860666609   整理番号:19A1476954

高速発振レーザの高速走査を用いた微細溝形成に関する基礎的検討

著者 (4件):
資料名:
巻: 57th  ページ: ROMBUNNO.1012  発行年: 2019年 
JST資料番号: L0015B  ISSN: 2424-2764  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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近年,連続発振レーザの高輝度化がめざましく,微細スポットで大きなパワー密度を得ることが可能となっている.そこで,最大平均出力200W,波長1.09μmの連続発振レーザを数十μmの微細スポットに集光し,各種材料表面に対して0°~45°の入射角をもって1m/s以上の大きな速度で走査させて高速溝加工を試みた.アルミニウム合金ではスポットサイズ以上の大きな幅の溝加工となっていたが,純チタンや鉄鋼系材料では,スポットサイズと同等以下の幅で深さ数十μmの連続的な微細溝を形成することができた.(著者抄録)
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