近接気化型CVD法によるZnO膜の作製における原料気化の影響

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J-GLOBAL ID：201902265704092746 整理番号：19A0157451

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 31st ページ： ROMBUNNO.3R09 発行年： 2018年08月27日
JST資料番号： L2240B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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酸化物薄膜

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