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J-GLOBAL ID：201902266000583305   整理番号：19A1042778

Si含有CrAlN膜の機械的,トライボロジー的および酸化特性【JST・京大機械翻訳】

Mechanical, tribological, and oxidation properties of Si-containing CrAlN films

著者 (2件)： Kitamika Y. (Graduate School of Science & Engineering, Saga University, 1 Honjyo-machi, Saga, 840-8502, Japan) ,  Hasegawa H. (Graduate School of Science & Engineering, Saga University, 1 Honjyo-machi, Saga, 840-8502, Japan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 164  ページ： 29-33  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Cr_XAl_YSi_Z N膜を,合金ターゲットからの高周波マグネトロンスパッタリングによって合成した。ターゲット中のAlに対するCrの金属比は,立方晶から六方晶への相転移に対応するものに近かった。X線回折分析は,すべての調製した膜が六方晶相の析出なしで立方晶構造を有することを示した。微小硬さはCr_0.41Al_0.59Nの30.9GPaからCr_0.43Al_0.46Si_0.11Nの42.2GPaまで増加した。動的酸化の間,示差熱分析曲線における発熱ピークは,Cr_0.41Al_0.59Nに対する1286°CからCr_0.43Al_0.46Si_0.11Nに対する1384°Cにシフトした。動的酸化挙動と一致して,Cr_0.43Al_0.46Si_0.11Nの熱重量分析で測定した質量増加は,800~1200°Cの等温酸化温度で最小値を示した。さらに,耐摩耗性コーティングとしての使用の必要条件を考慮して,膜の微細構造,微小硬さ,トライボロジー特性,および酸化挙動を評価した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱重量分析 ,  立方晶系 ,  相転移 ,  *酸化 ,  微小硬さ ,  六方晶系 ,  X線回折分析 ,  *トライボロジー ,  示差熱分析 ,  合金 ,  *クロム ,  微細構造 ,  発熱 ,  *アルミニウム
準シソーラス用語： 等温酸化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Cralsin ,  微細構造 ,  微小硬度 ,  摩擦係数 ,  耐酸化性

分類 (5件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  防食  (WB03040M) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属の機械的性質  (BL01022T) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： Si ,  トライボロジー ,  酸化