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J-GLOBAL ID：201902266551320529   整理番号：19A0999242

ダイヤモンド状炭素膜における応力誘起構造変化のRaman分光研究【JST・京大機械翻訳】

Raman spectroscopic studies of stress-induced structure alteration in diamond-like carbon films

著者 (8件)： Zhu Wenliang (Ceramic Physics Laboratory, Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan) ,  Arao Kazuyuki (Ceramic Physics Laboratory, Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan) ,  Nakamura Morimasa (Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan) ,  Takagawa Yuka (Graduate School of Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan) ,  Miura Ken-ichi (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology, 2-7-1, Ayumino, Izumi-shi, 594-1157 Osaka, Japan) ,  Kobata Junpei (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology, 2-7-1, Ayumino, Izumi-shi, 594-1157 Osaka, Japan) ,  Marin Elia (Ceramic Physics Laboratory, Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan) ,  Pezzotti Giuseppe (Ceramic Physics Laboratory, Kyoto Institute of Technology, Sakyo-ku, Matsugasaki, 606-8585 Kyoto, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 94  ページ： 1-7  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,異なる基板バイアス電圧(SBV)で作製したDLC膜上に導入したVickers押込プリントについてRamanスペクトルマッピングを行った。マッピング結果は,SBVを適用した場合としない場合に作製した試料のDとGピークに対する強度比,I_D/I_G,およびバンドシフトの明確な差を示した。これらのスペクトル特性は,圧縮(残留)応力場の累積効果と,押込みプリントの発生におけるsp2とsp3炭素無秩序を含む構造変化から生じた。膜断面上のスペクトル線走査を用いた付加的な定量的応力解析は,膜中に貯蔵された圧縮応力に対する大きさの明確な差と,作製中に適用された異なるSBVから生じる深い構造変化を明らかにした。SBVの増加に伴うDLC膜における残留圧縮応力の増加レベルは,基板への接着の減少とVickers硬度の増加に直接寄与する可能性がある。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 応力解析 ,  スペクトル ,  電圧 ,  走査 ,  基板 ,  Ramanスペクトル ,  *Raman分光法 ,  DLC膜 ,  圧縮応力 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  応力場 ,  Vickers硬さ ,  無秩序性 ,  *構造変化 ,  解析

著者キーワード (6件)： ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜 ,  残留応力 ,  構造変化 ,  vickers押込 ,  Raman分光法

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： ダイヤモンド状炭素 ,  応力 ,  誘起 ,  構造変化 ,  Raman分光 ,  研究