文献

J-GLOBAL ID：201902267328666668   整理番号：19A0518621

DUAL-Axis加速度計における交差Axis感度を除去するための二重くし形指の設計【JST・京大機械翻訳】

Double-Comb-Finger Design to Eliminate Cross-Axis Sensitivity in a Dual-Axis Accelerometer

著者 (3件)： Mohammed Zakriya (Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE) ,  Gill Waqas A. (Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE) ,  Rasras Mahmoud (Department of Electrical Engineering, and Computer Science, Masdar Institute, Khalifa University of Science and Technology, Abu Dhabi, UAE)
資料名： IEEE Sensors Letters  (IEEE Sensors Letters)
巻： 1  号： 5  ページ： ROMBUNNO.2501004.1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2476A  ISSN： 2475-1472  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゼロ交差軸感度をもつ二軸加速度計を示した。一般に,単一の質量を持つ多軸加速度計は,複数の自由度を持ち,それらを高い交差軸感度に敏感にする。本論文では,デバイスレベルで面内交差軸感度を完全に除去する新しい微分容量性フィンガー方式を提案した。提案した加速度計は高感度で,6Vのプルイン電圧で±10g範囲にわたり80.97fFg(g=9.8m/s~2)の微分容量スケール因子を持つ。さらに,Z軸方向における加速による面外運動は,その方向における高ばね定数のために著しく抑制される。この装置は,GlobalFoundries Inertial測定ユニット(IMU)プラットフォームを用いて1.6mmのコンパクトなフットプリントで製作される。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *加速度計 ,  ばね定数 ,  高感度 ,  多軸 ,  二軸 ,  自由度 ,  *櫛形 ,  微分容量 ,  スケール因子 ,  計測器
準シソーラス用語： プルイン電圧 ,  Axis , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 加速度計 ,  交差 ,  感度 ,  くし形 ,  指 ,  設計