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J-GLOBAL ID：201902267375979787   整理番号：19A0220352

ナノ表面改質技術 硬質トライボ材料向け成膜技術の最新動向

著者 (4件)： 上坂裕之 (岐阜大 工) ,  上坂裕之 (岐阜大 地域連携スマート金型技術研究セ) ,  中田博道 (トヨタ自動車) ,  篠田健太郎 (ブラザー工業)
資料名： 月刊トライボロジー  (トライボロジー)
号： 377  ページ： 18-21  発行年： 2019年01月10日 
JST資料番号： L0218A  ISSN： 0914-6121  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・トライボロジー硬質材料向け新しい成膜の最新動向を紹介。
・高密度プラズマに基づくDLC膜の超高速少量生産の取組みを解説。
・超高硬度DLC成膜技術のマイクロパーティクル抑制技術を概説。
・電子ビーム励起プラズマに基づくCBN成膜技術の最新動向を紹介。

シソーラス用語： *表面改質 ,  *ナノテクノロジー ,  硬質 ,  *トライボロジー ,  材料 ,  *構成 ,  *状態 ,  *プラズマ ,  *DLC膜 ,  少量生産 ,  *セラミック ,  窒化ホウ素 ,  CBN【セラミック】 ,  高密度プラズマ ,  *薄膜形成
準シソーラス用語： *最新動向 ,  *成膜

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  表面処理  (YH04112X) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面改質 ,  硬質 ,  成膜 ,  最新動向