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J-GLOBAL ID：201902267621706274   整理番号：19A1664781

赤外領域フリップチップ光検出器の成分の非平坦性の実時間制御【JST・京大機械翻訳】

Real-Time Control of Nonflatness of Components of Infrared-Range Flip-Chip Photodetectors

著者 (5件)： Novoselov A. R. (Design and Technology Institute of Applied Microelectronics, Novosibirsk Department of the Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Aldokhin P. A. (Design and Technology Institute of Applied Microelectronics, Novosibirsk Department of the Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Matochkin A. E. (Institute of Automation and Electrometry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Dobrovolskii P. P. (Design and Technology Institute of Applied Microelectronics, Novosibirsk Department of the Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Shatunov K. P. (Design and Technology Institute of Applied Microelectronics, Novosibirsk Department of the Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia)
資料名： Optoelectronics,Instrumentation and Data Processing  (Optoelectronics,Instrumentation and Data Processing)
巻： 55  号： 2  ページ： 162-171  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0874A  ISSN： 8756-6990  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 赤外領域に敏感で,フリップチップ技術により作製した光検出器アレイのウエハ非平坦性の実時間非破壊検査のためのオートコリメーションと干渉法を用いる可能性を検討した。これらの方法はウエハの非平坦性と最大たわみを監視できる。本研究ではこれらの方法を適用して,GaAs基板上のシリコンスライスのフラグメントのウエハの非平坦性と,異なる破壊段階での光検出器のウエハの非平坦性と熱サイクルの過程でのウエハの非平坦性を測定した。Copyright 2019 Allerton Press, Inc. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *平坦性 ,  *光検出器 ,  光検出器アレイ ,  *フリップチップ法 ,  干渉測定 ,  熱サイクル ,  ケイ素 ,  たわみ ,  コリメーション ,  非破壊検査 ,  光センサ
準シソーラス用語： GaAs基板 ,  *実時間 ,  実時間制御 ,  *赤外領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 光検知器 ,  オートコリメーション法 ,  干渉法

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (5件)： 赤外領域 ,  フリップチップ ,  光検出器 ,  平坦性 ,  実時間制御