文献

J-GLOBAL ID：201902267969397844   整理番号：19A1998028

Heプラズマへの曝露によるロジウム/ルテニウム上のナノ構造成長

Nanostructure Growth on Rhodium/Ruthenium by the Exposure to He Plasma

著者 (10件)： NOJIMA Tomohiro (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  KAJITA Shin (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University) ,  YOSHIDA Naoaki (Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University) ,  KAWAGUCHI Shota (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  OHNO Noriyasu (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  TANAKA Hirohiko (Graduate School of Engineering, Nagoya University) ,  TOKITANI Masayuki (National Institute for Fusion Science) ,  NAGATA Daisuke (National Institute for Fusion Science) ,  AKIYAMA Tsuyoshi (National Institute for Fusion Science) ,  YAGI Takashi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)
資料名： Plasma and Fusion Research (Web)  (Plasma and Fusion Research (Web))
巻： 13  ページ： 3406065(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0045A  ISSN： 1880-6821  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング装置を用いてタングステン試料上にロジウムとルテニウム薄膜被覆を行った。次に,線形プラズマ装置NAGDIS-II(名古屋ダイバータシミュレータ)で,試料にHeプラズマを照射した。表面温度が~950および~1200Kのとき,それぞれロジウムおよびルテニウム試料上に毛羽状のナノ構造が形成された。表面温度が高い,>1200Kでは,タングステン原子がロジウム膜を横切って拡散し,膜表面に達し,タングステンの毛羽がロジウム層上に形成されることが分かった。ルテニウム繊維のTEM分析から,繊維中に薄い部分があり,いくつかの繊維はHe気泡を持たないことが確認された。ルテニウム上の繊維成長機構は他の金属と異なっていた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ壁相互作用 ,  プラズマ ,  *プラズマ曝露 ,  ナノ構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *タングステン ,  *ロジウム ,  *ルテニウム ,  *薄膜 ,  *被覆 ,  シミュレータ ,  *ダイバータ ,  *毛羽 ,  改質 ,  *形態 ,  パーコレーション ,  *変化 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： コーティング ,  ダイバータシミュレータ ,  ヘリウムプラズマ ,  *形態変化 ,  線形プラズマ装置 ,  TEM【顕微鏡】

著者キーワード (5件)： ロジウム ,  ルテニウム ,  Fuzz ,  パーコレーション ,  形態変化

分類 (2件)： 核融合装置  (BJ02083Z) ,  固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W)

引用文献 (21件)：

• [1] S. Takamura et al., Plasma Fusion Res. 1, 051 (2006).
• [2] M. de Respinis et al., ACS Appl. Mater. Interface 5, 7621 (2013).
• [3] S.I. Krasheninnikov, Phys. Scr. T145, 014040 (2011).
• [4] Yu.V. Martynenko and M.Yu. Nagel, Plasma Phys. Rep. 38, 12, 996 (2012).
• [5] S. Kajita et al., New J. Phys. 17, 043038 (2015).

タイトルに関連する用語 (7件)： He ,  プラズマ ,  曝露 ,  ロジウム ,  ルテニウム ,  ナノ構造 ,  成長