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J-GLOBAL ID：201902268107833000   整理番号：19A1409664

水溶液から堆積した非晶質多金属酸化物薄膜における不均一組成プロファイル【JST・京大機械翻訳】

Nonuniform Composition Profiles in Amorphous Multimetal Oxide Thin Films Deposited from Aqueous Solution

著者 (12件)： Woods Keenan N. (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Thomas Milana C. (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, Texas, United States) ,  Mitchson Gavin (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Ditto Jeffrey (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Xu Can (Department of Physics and Astronomy, Rutgers University) ,  Kayal Donna (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Frisella Kathleen C. (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Gustafsson Torgny (Department of Physics and Astronomy, Rutgers University) ,  Garfunkel Eric (Department of Chemistry and Chemical Biology, Rutgers University) ,  Chabal Yves J. (Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, Texas, United States) ,  Johnson David C. (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States) ,  Page Catherine J. (Department of Chemistry & Biochemistry and Materials Science Institute, University of Oregon, Oregon, United States)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 42  ページ： 37476-37483  発行年： 2017年10月25日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属酸化物薄膜は技術的応用において普遍的である。しばしば,複数の金属成分を用いて,特定の機能に対する望ましい膜特性を達成した。溶液堆積は,前駆体化学量論の操作を通して膜組成の注意深い制御を可能にするので,これらの多金属酸化物を製造するための魅力的なルートを提供する。均一な前駆体溶液が均一な薄膜を生成すると一般に仮定されてきたが,最近,水性堆積膜における不均一電子密度分布の証拠が報告されている。ここでは,ランタンジルコニウムオキシド(LZO)薄膜における不均一電子密度が金属成分の不均一分布の結果であることを示した。特に,Laは膜表面で凝集するが,Zrは単層膜を通して比較的均等に分布している。この不均一な金属分布は積層多層膜で持続し,逐次堆積層間のLaリッチ界面をもたらす。単層と多層のLZO膜から作製した金属-絶縁体-半導体デバイスの試験は,多層膜がより高い誘電率を有することを示し,多層膜中のLaリッチ界面が膜特性に悪影響を及ぼさないことを示した。多層膜の誘電特性が単層膜に比べて大きくなり,緻密化することが分かった。これらの結果は,多層膜が層化アーチファクトの存在にもかかわらず素子応用に適している可能性を示唆している。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 誘電性 ,  界面 ,  *金属酸化物 ,  アーチファクト ,  *非晶質 ,  電子密度 ,  緻密化 ,  単一層 ,  *薄膜 ,  ランタン ,  *水溶液 ,  多層膜 ,  成層 ,  誘電率 ,  多層

著者キーワード (6件)： 溶液堆積 ,  多層薄膜 ,  階層化アーチファクト ,  不均一組成 ,  密度勾配 ,  ランタンジルコニウムオキシド

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 水溶液 ,  堆積 ,  非晶質 ,  金属酸化物薄膜 ,  不均一 ,  組成 ,  プロファイル