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J-GLOBAL ID:201902268762221673   整理番号:19A1394781

高次元非線形プロセスのための変分オートエンコーダを用いたプロセスモニタリング【JST・京大機械翻訳】

Process monitoring using variational autoencoder for high-dimensional nonlinear processes
著者 (4件):
資料名:
巻: 83  ページ: 13-27  発行年: 2019年 
JST資料番号: T0797A  ISSN: 0952-1976  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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多くの産業において,統計的プロセス監視技術は,変動減少と欠陥防止を通してプロセスを改良することにおいて重要な役割を果たした。現代の大規模産業プロセスは,高次元非線形プロセスに効率的に対処できる適切な監視技術を必要とする。そのようなプロセスは,いくつかの潜在的な可変ベースの方法によって成功裏にモニターされた。しかし,これらの監視方法は,縮小空間におけるHotellingのT2統計を用いるので,正規性仮定はこれらのツールの構築の基礎となる。この仮定は,非線形および非正規状態の両方における潜在的可変ベース監視チャートの使用を制限した。本研究では,高次元プロセスにおける非線形および非正規状態の両方を扱うことができる監視法として,変分自動符号器(VAE)を提案した。VAEは,それが多変量正規分布に従うように減少した空間を引き起こすので,T2チャートに適している。提案したVAEに基づくチャートの有効性と適用性を,薄膜トランジスタ液晶ディスプレイプロセスからのシミュレーションデータと実データの実験により実証した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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