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J-GLOBAL ID：201902271185726547   整理番号：19A1408387

熱泳動によるエアロゾル合成単層カーボンナノチューブの乾式及び直接堆積【JST・京大機械翻訳】

Dry and Direct Deposition of Aerosol-Synthesized Single-Walled Carbon Nanotubes by Thermophoresis

著者 (6件)： Laiho Patrik (Department of Applied Physics, Aalto University School of Science, Finland) ,  Mustonen Kimmo (Department of Applied Physics, Aalto University School of Science, Finland) ,  Mustonen Kimmo (Physics of Nanostructured Materials, Faculty of Physics, University of Vienna, Austria) ,  Ohno Yutaka (Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University, Japan) ,  Maruyama Shigeo (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, Japan) ,  Kauppinen Esko I. (Department of Applied Physics, Aalto University School of Science, Finland)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 24  ページ： 20738-20747  発行年： 2017年06月21日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単層カーボンナノチューブ(SWCNTs)は電子およびフォトニックデバイスにおける活性材料として大きな可能性を示すが,それらの適用性は既存の堆積法における欠点によって現在制限されている。SWCNTsは液体溶液から分散できる。しかし,それらの乏しい溶解度は,界面活性剤の使用と超音波処理を必要とし,デバイス性能の欠陥と劣化を引き起こす。同様に,SWCNTを直接成長させることができる化学蒸着成長限界基板によって必要とされる高温が必要である。ここでは,熱泳動による元のエアロゾル合成SWCNTの直接堆積の系統的研究を示した。堆積時間を変えることにより,堆積したナノチューブ膜の密度を個々の分離ナノチューブから多層薄膜に連続的に調整できた。熱泳動沈殿器内部の側方流に依存して,堆積SWCNT膜の角度分布は均一から不均一に変化した。基板はほぼ室温で保たれているので,堆積は,1に近い高い効率で,実際には平坦な基板上で行うことができる。エーロゾル損失測定により決定したSWCNTの熱泳動末端速度は,自由分子領域における通常の予測の約1/3であり,ナノチューブ直径への弱い依存性を示すことが分かった。著者らの技術の適用性の実証として,均一な電気的性質を持ち,99.5%以上の高い収率をもつカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製において,熱泳動堆積を用いた。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  溶解度 ,  *カーボンナノチューブ ,  基板 ,  *熱泳動 ,  多層膜 ,  *ナノチューブ ,  *単層カーボンナノチューブ ,  沈殿 ,  化学蒸着 ,  界面活性剤 ,  適応性 ,  *エアロゾル ,  薄膜トランジスタ ,  フォトニックデバイス

著者キーワード (6件)： エアロゾル技術 ,  エアロゾル沈着 ,  熱泳動 ,  単層カーボンナノチューブ ,  浮遊触媒化学蒸着 ,  薄膜トランジスタ

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱泳動 ,  エアロゾル ,  単層カーボンナノチューブ ,  堆積