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J-GLOBAL ID：201902271601225530   整理番号：19A2875135

自己加熱金属ナノシートセンサの集積による低電力およびPPMレベルの多分子検出【JST・京大機械翻訳】

Low-Power and ppm-Level Multimolecule Detection by Integration of Self-Heated Metal Nanosheet Sensors

著者 (11件)： Tanaka Takahisa (Department of Materials Engineering, University of Tokyo, Hongo, Japan) ,  Yanagida Takeshi (Institute for Materials Chemistry and Engineering, Kyushu University, Kasuga, Japan) ,  Uchida Ken (Department of Materials Engineering, University of Tokyo, Hongo, Japan) ,  Tabuchi Kenta (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Tatehora Kohei (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Shiiki Yohsuke (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Nakagawa Shuya (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Takahashi Tsunaki (Institute for Materials Chemistry and Engineering, Kyushu University, Kasuga, Japan) ,  Shimizu Ryota (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Ishikuro Hiroki (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan) ,  Kuroda Tadahiro (Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University, Yokohama, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 66  号： 12  ページ： 5393-5398  発行年： 2019年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低消費電力によるH_2とNH_3検出を,ガラス基板上の集積化学抵抗性PtとPtRhナノシートセンサによって実証した。自己加熱効果は金属ナノシートセンサの低電力と局所加熱を実現し,異なる動作温度を持つセンサの集積を可能にした。H_2とNH_3に対するPtとPtRhナノシートの異なる抵抗変化に基づいて,各ガスの濃度を約1mWの電力を消費することによってガス混合物から検出した。電力消費の低減とセンサの更なる集積化のために,センサスケーリングとパルス動作を数値的および実験的に研究した。大規模集積(LSI)回路への金属ナノシートセンサの良好な接続性に加えて,センサスケーリングによる電力消費の改善が証明された。集積センサアレイに必要なパルス動作は,電力消費が20%低減された場合でも,センサ応答または抵抗変化を約60%維持した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 混合気体 ,  連結性 ,  白金 ,  *ナノシート ,  センサアレイ ,  LSI【IC】 ,  パルス ,  センサ ,  電力消費 ,  *電力 ,  ガラス基板 ,  *自己加熱
準シソーラス用語： 抵抗変化 ,  動作温度 ,  *低電力化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自己加熱 ,  シートセンサ ,  集積 ,  低電力 ,  PPM ,  分子検出