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J-GLOBAL ID：201902272223114839   整理番号：19A2607556

RFスパッタしたアゾ薄膜の特性に及ぼす基板粗さの影響【JST・京大機械翻訳】

The effect of substrate roughness on the properties of RF sputtered AZO thin film

著者 (4件)： Hamada Kairi (Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan) ,  Ogawa Takaya (Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan) ,  Okumura Hideyuki (Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan) ,  Ishihara Keiichi N. (Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
資料名： MRS Communications  (MRS Communications)
巻： 9  号： 2  ページ： 697-701  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5490A  ISSN： 2159-6859  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)は太陽電池の前面電極用の最も有望な透明導電性酸化物材料の一つである。本研究では,種々のAZO特性に及ぼす粗さの影響を調べるために,基板表面とスパッタしたAZO膜を粗くした。ヘイズ値は大きく強化され,伝導率や透明度などの他の重要な特性を保持した。光学バンドギャップは粗さのために明瞭な青方偏移を示した。このシフトの可能な原因は,粗面上のAZO膜の異なる堆積とポストアニーリング機構によるAl含有量の変化である可能性がある。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  アルミニウム ,  光学ギャップ ,  粗面 ,  *RFスパッタリング ,  太陽電池 ,  *基板 ,  透明度 ,  青方偏移 ,  *表面粗さ ,  伝導率 ,  基板表面 ,  透明導電性酸化物
準シソーラス用語： ポストアニーリング ,  ヘイズ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： RFスパッタ ,  薄膜 ,  粗さ