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J-GLOBAL ID：201902272478112583   整理番号：19A1623187

二次元Electronガスを含むナノ機械共振器のオンチップ圧電作動【JST・京大機械翻訳】

On-Chip Piezoelectric Actuation of Nanomechanical Resonators Containing a Two-Dimensional Electron Gas

著者 (13件)： Shevyrin A. A. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Bakarov A. K. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Bakarov A. K. (Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia) ,  Shklyaev A. A. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Shklyaev A. A. (Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia) ,  Arakcheev A. S. (Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia) ,  Arakcheev A. S. (Budker Institute of Nuclear Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Kurosu M. (NTT Basic Research Laboratories, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan) ,  Kurosu M. (Department of Physics, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Yamaguchi H. (NTT Basic Research Laboratories, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan) ,  Yamaguchi H. (Department of Physics, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Pogosov A. G. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia) ,  Pogosov A. G. (Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia)
資料名： JETP Letters  (JETP Letters)
巻： 109  号： 4  ページ： 261-265  発行年： 2019年 
JST資料番号： W4512A  ISSN： 0021-3640  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： オンチップ圧電作動は,二次元電子ガスを含むAlGaAs/GaAs系ナノ機械共振器の共振振動を駆動するための適切な方法であることを実験的に示した。166nm厚さのカンチレバーと二重クランプ梁の曲げとねじり振動の両方を室温でこの方法を用いて駆動できる。圧電駆動共振器のサイズを低減するとき,少なくとも二つの点を扱うべきである。最初に,本論文で示したように,駆動電気信号の寄生減衰は,固有振動数における作動効率を制限する主要因となり,サイズ減少によりメガヘルツ範囲に増加した。第二に,薄くて比較的長いブリッジ状AlGaAs/GaAsベース共振器は,縦方向圧縮応力によって引き起こされるEuler座屈不安定性の傾向がある。座屈は近臨界圧縮での作動を妨げないことを実証した。しかし,大きな超臨界圧縮は圧電駆動振動を完全に抑制する。この抑制を避ける方法を提案した。Copyright 2019 Pleiades Publishing, Inc. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： クランプ ,  圧縮応力 ,  ヒ化ガリウム ,  *圧電気 ,  *二次元 ,  ねじり振動 ,  臨界 ,  超臨界 ,  片持梁 ,  ヒ化ガリウムアルミニウム ,  *共振 ,  不安定性 ,  *共振器
準シソーラス用語： 圧電駆動 ,  *オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ機械共振器 ,  オンチップ ,  圧電