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J-GLOBAL ID：201902273428419667   整理番号：19A0593105

MoS₂のCVD成長-触媒ナノ粒子を用いたナノチューブ成長と薄膜の不純物・欠陥の解析

著者 (6件)： 島田敏宏 (北大 大学院) ,  上原史也 (北大 大学院) ,  後藤真菜美 (北大 大学院) ,  田村貴大 (北大 大学院) ,  柳瀬隆 (北大 大学院) ,  長浜太郎 (北大 大学院)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会講演要旨集  (日本表面真空学会学術講演会要旨集)
巻： 2018  ページ： 14  発行年： 2018年11月19日 
JST資料番号： L1308B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *硫化モリブデン ,  *化学蒸着 ,  ナノ粒子 ,  ナノチューブ ,  不純物 ,  格子欠陥 ,  鉄化合物 ,  *硫化モリブデン(IV)
準シソーラス用語： *二硫化モリブデン ,  CVD【化学蒸着】 ,  *触媒CVD ,  結晶欠陥

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (10件)： MoS2 ,  CVD ,  成長 ,  触媒 ,  ナノ粒子 ,  ナノチューブ ,  薄膜 ,  不純物 ,  欠陥 ,  解析