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J-GLOBAL ID：201902273646906316   整理番号：19A0180791

多孔質シリコンから導かれた調整可能な可視透明光学【JST・京大機械翻訳】

Tunable Visibly Transparent Optics Derived from Porous Silicon

著者 (4件)： Ocier Christian R. (Department of Materials Science and Engineering, Frederick Seitz Materials Research Laboratory, and Beckman Institute, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States) ,  Krueger Neil A. (Department of Materials Science and Engineering, Frederick Seitz Materials Research Laboratory, and Beckman Institute, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States) ,  Zhou Weijun (The Dow Chemical Company, Texas, United States) ,  Braun Paul V. (Department of Materials Science and Engineering, Frederick Seitz Materials Research Laboratory, and Beckman Institute, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
資料名： ACS Photonics  (ACS Photonics)
巻： 4  号： 4  ページ： 909-914  発行年： 2017年 
JST資料番号： W5045A  ISSN： 2330-4022  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可視的に透明な多孔質二酸化ケイ素(PSiO_2)およびPSiO_2/二酸化チタン(TiO_2)光学素子を,電気化学的に定義された多孔性プロファイルを含む電気化学的にエッチングした多孔質シリコン(PSi)構造の熱酸化,または熱酸化と原子層堆積充填の組合せにより作製した。熱酸化したPSiO_2構造は可視波長で透明で,1.1から1.4の範囲の屈折率を持つように設計できる。屈折率は,細孔のTiO_2充填を通して,2.0以上に増加することができた。この酸化とTiO_2充填法を適用することにより,可視スペクトルを横切るPSiから形成された分布Bragg反射器(DBR)の同調が可能になった。最大充填では,DBRは620nmで2%の透過率を示した。シミュレーションは測定スペクトルと良く一致した。DBRフィルタの形成に加えて,位相成形勾配屈折率(GRIN)要素を形成した。実証として,1.48mの計算焦点距離を有する放物線状,レンズ状位相プロファイルを有する直径4mmの半径方向GRIN PSiO_2要素を形成した。計算した焦点距離はTiO_2の添加により0.80mに減少した。全ての構造は可視で広い透明性を示し,材料変換プロセスに対して安定であった。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： レンズ ,  透過率 ,  屈折率分布 ,  フィルタ ,  二酸化ケイ素 ,  熱酸化 ,  *多孔質シリコン ,  *多孔性 ,  屈折率 ,  可視スペクトル ,  焦点距離 ,  波長 ,  多孔質体 ,  位相 ,  細孔
準シソーラス用語： 二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 勾配屈折率 ,  分布Bragg反射器 ,  スペクトルフィルタ ,  位相成形光学

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (2件)： 多孔質シリコン ,  光学