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J-GLOBAL ID：201902275602139306   整理番号：19A1000732

ハードマスクをエッチングするためのポリベンゾオキサゾール/グラフェンナノ複合材料【JST・京大機械翻訳】

Polybenzoxazole/graphene nanocomposite for etching hardmask

著者 (5件)： Shin Seung-Wook (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK-21 plus) & KAIST Institute for Nanocentury, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, 34141, Republic of Korea) ,  Kim Jong Seon (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK-21 plus) & KAIST Institute for Nanocentury, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, 34141, Republic of Korea) ,  Kim Seon Joon (Materials Architecturing Research Center, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Kim Dae Woo (Department of Chemical and Biomolecular Engineering, Yonsei University, 50, Yonsei-ro, Seodaemun-gu, Seoul, 03722, Republic of Korea) ,  Jung Hee-Tae (Department of Chemical and Biomolecular Engineering (BK-21 plus) & KAIST Institute for Nanocentury, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, 34141, Republic of Korea)
資料名： Journal of Industrial and Engineering Chemistry  (Journal of Industrial and Engineering Chemistry)
巻： 75  ページ： 296-303  発行年： 2019年 
JST資料番号： W3170A  ISSN： 1226-086X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェンが高分子ハードマスクのエッチング抵抗を著しく高めることを実証した。サブミクロン直径(nGO)のグラフェン酸化物を,化学カップリング反応によりフッ素化ポリ(ヒドロキシアミド)(FPHA)で官能化した。FPHA-官能化-nGOは,メタノール,シクロヘキサノン,ジメチルホルムアミド,およびN-メチルピロリドンを含む種々の有機溶媒中に分散することができる。さらに,分散液をスピンコートしてハードマスク膜を調製し,それからnRGO-フッ素化ポリベンゾオキサゾール(fpbo)膜を作製するために熱的にアニールした。元のfpbo膜と比較して,弾性係数(122%),硬度(92%),およびエッチ抵抗(54%)は,17wt%グラフェン負荷で著しく強化され,市販のCHM009膜の特性を上回った。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： フッ素化 ,  *ポリベンゾオキサゾール ,  *エッチング ,  スピンコーティング ,  高分子 ,  *グラフェン ,  官能化 ,  硬度 ,  *ナノ複合材料 ,  有機溶媒 ,  脂肪族カルボン酸 ,  カルボアミド ,  脂環式ケトン ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： *ハードマスク , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ハードマスク ,  複合材料 ,  グラフェン酸化物 ,  パターニング ,  エッチ抵抗

分類 (1件)： 医用素材  (GA05040H)

物質索引 (4件)： N-メチルピロリドン ,  ジメチルホルムアミド ,  シクロヘキサノン ,  メタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： マスク ,  エッチング ,  ポリベンゾオキサゾール ,  グラフェン ,  ナノ複合材料