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J-GLOBAL ID：201902275818295211   整理番号：19A2902239

FCVA蒸着におけるバイアス傾斜電圧によるTiAlN被覆の耐サンドエロージョン性改善と損傷機構【JST・京大機械翻訳】

Sand erosion resistance improvement and damage mechanism of TiAlN coating via the bias-graded voltage in FCVA deposition

著者 (8件)： Cao Xin (Science and Technology on Plasma Dynamics Laboratory, Air Force Engineering University, Xi’an, 710038, PR China) ,  He Weifeng (Science and Technology on Plasma Dynamics Laboratory, Air Force Engineering University, Xi’an, 710038, PR China) ,  He Weifeng (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  He Guangyu (Science and Technology on Plasma Dynamics Laboratory, Air Force Engineering University, Xi’an, 710038, PR China) ,  Liao Bin (College of Nuclear Science and Technology, Beijing Normal University, Beijing, 100875, PR China) ,  Zhang Honghong (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Chen Jiao (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Lv Changle (Science and Technology on Plasma Dynamics Laboratory, Air Force Engineering University, Xi’an, 710038, PR China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 378  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタンアルミニウムニトリド(TiAlN)被覆を,-50Vから-200Vまでのバイアス電圧と一定バイアス電圧(-50V,-125V,-200V)のバイアス電圧を持つフィルタ陰極真空アーク(FCVA)堆積法を用いて,Ti6Al4V合金基板上に堆積した。これらの被覆の微細構造と機械的性質を調べ,比較した。サンドブラスト装置を用いて,30°と90°での砂浸食抵抗を評価した。-200Vの一定バイアス電圧で堆積した被覆は32.47GPaの最高の平均硬度を有した。バイアス傾斜コーティングは,同じ平均硬度(32.08GPa)を有していたが,低い内部応力(-2.66GPa)と,一定バイアスコーティングよりもかなり高い接着強度(44.03N)を有していた。両方のエロージョン角(30°と90°)では,バイアス電圧の増加とともに,一定バイアス被覆のエロージョン速度は増加した。一般的に,バイアス傾斜被覆のエロージョン速度(30°と90°のエロージョン角でそれぞれ0.014と0.013mg/g)は,一定バイアス被覆のそれより著しく低かった。Bias傾斜堆積は,被覆のエロージョン抵抗を改善する有効な方法である。コーティングのエロージョン機構は,コーティングチッピングである。バイアス傾斜TiAlN被覆の優れたエロージョン抵抗は,この被覆の高い硬度と低い内部応力に起因する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 硬度 ,  微細構造 ,  バイアス ,  *蒸着 ,  内部応力 ,  カソード ,  フィルタ ,  耐食性 ,  機械的性質 ,  接着強さ ,  真空アーク ,  *電圧 ,  浸食 ,  *被覆
準シソーラス用語： *エロージョン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： TiAlNコーティング ,  Bias-傾斜電圧 ,  定バイアス電圧 ,  ろ過陰極真空アーク ,  耐食性

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 蒸着 ,  バイアス ,  TiAlN ,  エロージョン ,  損傷