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J-GLOBAL ID：201902275846245883   整理番号：19A1998029

レーザ吸収分光法によるマイクロホロー陰極ヘリウムプラズマ中の準安定原子密度と電場強度の空間分解測定

Spatially Resolved Measurements of Metastable Atom Density and Electric Field Strength in a Microhollow Cathode Helium Plasma by Laser Absorption Spectroscopy

著者 (8件)： UENO Keisuke (Graduate School of Engineering, Kyoto University) ,  KAMEBUCHI Kenta (Graduate School of Engineering, Kyoto University) ,  KAKUTANI Jiro (Graduate School of Engineering, Kyoto University) ,  MATSUOKA Leo (Graduate School of Engineering, Hiroshima University) ,  NAMBA Shinichi (Graduate School of Engineering, Hiroshima University) ,  FUJII Keisuke (Graduate School of Engineering, Kyoto University) ,  SHIKAMA Taiichi (Graduate School of Engineering, Kyoto University) ,  HASUO Masahiro (Graduate School of Engineering, Kyoto University)
資料名： Plasma and Fusion Research (Web)  (Plasma and Fusion Research (Web))
巻： 13  ページ： 3406070(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0045A  ISSN： 1880-6821  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10~80kPaのガス圧で,直径0.3mmの円筒状の穴の内部に発生した直流ホロー陰極ヘリウムプラズマにレーザ吸収分光法を適用した。測定した遷移は2³S-2~3Pと2³P-3¹Dである。前者の転移を用いてヘリウム準安定2³S密度と気体温度を評価し,後者から2¹P原子密度と電場強度を評価した。2³Sと2¹P原子密度の観測された横方向分布はガス圧に依存し,これは評価した電界強度の空間分布に基づいて推定したシース長によるものである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ホロー陰極放電 ,  *ホロー陰極 ,  プラズマ ,  *電界強度 ,  計測 ,  *空間分解分光法 ,  *レーザ分光法 ,  密度 ,  温度 ,  プラズマさや ,  ヘリウムプラズマ ,  気体温度 ,  原子密度 ,  電場測定
準シソーラス用語： *マイクロホロー陰極 ,  *レーザ吸収分光法 ,  準安定原子 ,  *電場強度

著者キーワード (3件)： マイクロホロー陰極放電 ,  レーザ吸収分光法 ,  ヘリウム準安定性

分類 (3件)： 放電装置  (BJ03040P) ,  気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (11件)：

• [1] K.H. Schoenbach et al., J. Vac. Sci. Technol. A 21, 1260 (2003).
• [2] G.J. Kim and J.K. Lee, IEEE Trans. Plasma Sci. 36, 1238 (2008).
• [3] C. Lazzaroni et al., J. Phys. D 43, 124008 (2010).
• [4] S. Namba et al., J. Appl. Phys. 110, 073307 (2011).
• [5] K. Ueno et al., Jpn. J. Appl. Phys. 17, 01AA03 (2018).

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ吸収分光法 ,  マイクロ ,  ホロー陰極 ,  ヘリウムプラズマ ,  原子密度 ,  電場強度 ,  分解