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J-GLOBAL ID：201902276655733993   整理番号：19A1409653

超薄Au膜に及ぼすTiおよびCr接着層の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of Ti and Cr Adhesion Layers on Ultrathin Au Films

著者 (5件)： Todeschini Matteo (DTU Danchip/Cen, Technical University of Denmark, Denmark) ,  Bastos da Silva Fanta Alice (DTU Danchip/Cen, Technical University of Denmark, Denmark) ,  Jensen Flemming (DTU Danchip/Cen, Technical University of Denmark, Denmark) ,  Wagner Jakob Birkedal (DTU Danchip/Cen, Technical University of Denmark, Denmark) ,  Han Anpan (DTU Danchip/Cen, Technical University of Denmark, Denmark)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 42  ページ： 37374-37385  発行年： 2017年10月25日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘電体または半導体基板上への金薄膜の効率的な接着は,プラズモニクス,メタ材料,2D材料およびナノエレクトロニクスの応用および研究において不可欠である。ナノ科学と技術における無残留ダウンスケーリングの結果として,接着層と被覆層の厚さは数十ナノメートルに達し,著者らの現在の理解が十分であるかどうかは不明である。本報告では,CrおよびTi接着層が,原子間力顕微鏡およびX線光電子分光法で補完された高分解能電子顕微鏡法により,2~20nmのAu薄膜のナノ構造にどのように影響するかを調べた。純Au膜をTi/Au及びCr/Au二層系と比較した。TiとCrの両方は,Au被覆層の結晶粒サイズと結晶配向に著しい影響を及ぼし,これはAuの接着層強化濡れと層間の化学結合形成と解釈した。TiはAu被覆層の下で均一な層を形成した。Cr-Au合金を形成するAu層と相互拡散したCr。Au層の結晶配向はすべての薄膜系で主に[111]であった。結果は,両方の接着層が部分的に酸化され,酸化源が精査され,発見されたことを示した。Ti/AuとCr/Au系の間の二層電気抵抗率の差を測定し比較した。これらの結果に基づいて,Ti/AuおよびCr/Au系の両方に対する修正およびより詳細な接着層モデルを提案した。最後に,結果の意味を分析し,ナノ光学およびナノエレクトロニクス応用のための接着層の選択に対する推奨を提示した。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶方位 ,  誘電体 ,  電子顕微鏡観察 ,  二次元 ,  *チタン ,  濡れ ,  *金 ,  被覆層 ,  酸化 ,  *接着 ,  *クロム ,  薄膜 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： 二層 ,  ナノエレクトロニクス ,  *接着層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 接着層 ,  薄膜ナノ構造 ,  薄膜接着 ,  電子顕微鏡 ,  ナノ光学 ,  ナノエレクトロニクス

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  コロイド化学一般  (CB11010C) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (4件)： Au ,  Ti ,  Cr ,  接着層