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J-GLOBAL ID：201902276735308201   整理番号：19A0660561

歪加工基板上に成長させたしわのない単結晶グラフェンウエハ【JST・京大機械翻訳】

Wrinkle-Free Single-Crystal Graphene Wafer Grown on Strain-Engineered Substrates

著者 (29件)： Deng Bing (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Pang Zhenqian (LNM, Institute of Mechanics, Chinese Academy of Sciences, China) ,  Chen Shulin (Electron Microscopy Laboratory, International Center for Quantum Materials, School of Physics, Peking University, China) ,  Chen Shulin (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, China) ,  Li Xin (CAS Key Laboratory of Standardization and Measurement for Nanotechnology, CAS Center for Excellence in Nanoscience, National Center for Nanoscience and Technology, China) ,  Li Xin (University of Chinese Academy of Sciences, China) ,  Meng Caixia (State Key Laboratory of Catalysis, Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChEM), Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, China) ,  Li Jiayu (Key Laboratory for the Physics and Chemistry of Nanodevices and Department of Electronics, Peking University, China) ,  Li Jiayu (Academy for Advanced Interdisciplinary Studies, Peking University, China) ,  Liu Mengxi (CAS Key Laboratory of Standardization and Measurement for Nanotechnology, CAS Center for Excellence in Nanoscience, National Center for Nanoscience and Technology, China) ,  Wu Juanxia (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Qi Yue (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Qi Yue (Academy for Advanced Interdisciplinary Studies, Peking University, China) ,  Dang Wenhui (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Yang Hao (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Yang Hao (Academy for Advanced Interdisciplinary Studies, Peking University, China) ,  Zhang Yanfeng (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Zhang Jin (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Kang Ning (Key Laboratory for the Physics and Chemistry of Nanodevices and Department of Electronics, Peking University, China) ,  Xu Hongqi (Key Laboratory for the Physics and Chemistry of Nanodevices and Department of Electronics, Peking University, China) ,  Fu Qiang (State Key Laboratory of Catalysis, Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChEM), Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, China) ,  Qiu Xiaohui (CAS Key Laboratory of Standardization and Measurement for Nanotechnology, CAS Center for Excellence in Nanoscience, National Center for Nanoscience and Technology, China) ,  Gao Peng (Electron Microscopy Laboratory, International Center for Quantum Materials, School of Physics, Peking University, China) ,  Gao Peng (Collaborative Innovation Center of Quantum Matter, China) ,  Wei Yujie (LNM, Institute of Mechanics, Chinese Academy of Sciences, China) ,  Liu Zhongfan (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Liu Zhongfan (Beijing Graphene Institute (BGI), China) ,  Peng Hailin (Center for Nanochemistry (CNC), Beijing Science and Engineering Center for Nanocarbons, Beijing National Laboratory for Molecular Sciences (BNLMS), College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, China) ,  Peng Hailin (Beijing Graphene Institute (BGI), China)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 11  号： 12  ページ： 12337-12345  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェンと基板の間の熱的不整合により誘起された歪により,高温での化学蒸着により種々の基板上に成長させたグラフェン膜に対して皺が遍在している。これはグラフェンの異常な性質を大きく劣化させる。ここでは,Cu基板上に成長したグラフェンのしわ形成は結晶方位に強く依存することを示した。歪工学によりサファイア基板上に作製したウエハスケールの双晶境界のない単結晶Cu(111)薄膜上にしわのない単結晶グラフェンを成長させた。グラフェンのしわのない特徴は,Cu(111)薄膜基板の比較的小さな熱膨張とCu(111)とグラフェンの間の比較的強い界面結合から生じ,歪解析と分子動力学シミュレーションに基づいている。さらに,再利用可能な単結晶Cu(111)/サファイア成長基板からターゲット基板上への超微細グラフェン膜の移動を実証した。皺のないグラフェンは,皺を持つグラフェンと比較して,電気移動度の向上を示した。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱膨張 ,  *基板 ,  不整合 ,  高温 ,  銅 ,  化学蒸着 ,  結晶方位 ,  サファイア ,  界面 ,  *グラフェン ,  *単結晶 ,  双晶境界 ,  エレクトロマイグレーション
準シソーラス用語： 分子動力学シミュレーション ,  銅(111) , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： グラフェンのしわ ,  超平坦 ,  歪工学 ,  単結晶 ,  熱不整合

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 歪 ,  成長 ,  しわ ,  単結晶 ,  グラフェン ,  ウエハ