文献

J-GLOBAL ID：201902277238905603   整理番号：19A0589379

MEMS振動型ジャイロスコープ

著者 (1件)： 塚本貴城 (東北大)
資料名： 電気学会誌  (電気学会雑誌)
巻： 139  号： 3  ページ： 160-163  発行年： 2019年03月01日 
JST資料番号： F0011A  ISSN： 1340-5551  CODEN： DGZAAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・コリオリ力は回転系で生ずる慣性力である。従来型のMEMSジャイロスコープとして,振幅変調(AM)型とフォースリバランス型を説明。
・どちらも駆動軸を一定振幅で振動させ,その振動エネルギーがコリオリ力により検出軸へ伝達され角速度を検出するが,これらの方式は検出感度を高くできる反面,スケールファクタが温度依存性を持つ事が欠点。
・そこで,スケールファクタが原理的に温度依存性を持たない周波数変調(FM)型と積分型のジャイロスコープを紹介し,その動作原理を解説。

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  *MEMS ,  *周波数変調 ,  Coriolisの力 ,  振動子 ,  回転角 ,  角速度 ,  感度 ,  *温度依存性 ,  慣性力
準シソーラス用語： *MEMSジャイロスコープ ,  *検出感度

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  振動型ジャイロ