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J-GLOBAL ID：201902277590155123   整理番号：19A1791139

ルチルTiO_2膜のキャリア移動度と二結晶粒界との関係【JST・京大機械翻訳】

The relationship between carrier mobility and bicrystalline grains boundary of rutile TiO₂ film

著者 (18件)： He Yanfei (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Zhang Xin (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Yuanbing (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Hao (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Zhang Yi (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Li Guozeng (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Wang Zehui (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Lin Yutao (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Wang Hualin (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Tao Hualong (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Chaoqian (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Jiang Weiwei (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Wang Nan (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Shimin (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Cui Yunxian (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Ding Wanyu (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Jindong (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, No. 794 Huanghe Road, Shahekou District, Dalian, Liaoning Province 116028, China) ,  Liu Jindong (College of Mechanical and Electrical Engineering, Jilin Institute of Chemical Technology, No. 45 Chengde Street, Longtan District, Jilin, Jilin Province 132022, China)
資料名： Modern Physics Letters B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics  (Modern Physics Letters B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics)
巻： 33  号： 16  ページ： 1950176  発行年： 2019年 
JST資料番号： T0431A  ISSN： 0217-9849  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： シンガポール (SGP)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ルチル二酸化チタン(TiO_2)は,高温での安定性のために,センサ分野で大きな関心を引き付けている。しかし,ルチルTiO_2の電子移動効率についてはほとんど知られていない。それは主に電子移動度によって影響される。本研究の目的は,ルチルTiO_2膜のキャリア移動度と双結晶粒境界の間の関係を研究することである。本研究では,150~900Wのスパッタリング出力を有する直流パルスマグネトロンスパッタリング技術により,TiO_2膜を蒸着した。次に,TiO_2膜を空気雰囲気中で[数式:原文を参照]でアニールした。このようにして,ルチルTiO_2膜を得た。ルチルTiO_2膜のキャリア移動度に特別な注意を払った。Hall測定結果は,150から900Wまでのスパッタリングパワーの増加によって,ルチルTiO_2膜のキャリア移動度が,徐々に0.75から[数式:原文を参照]に増加したことを示した。TEMとSAEDの結果を合わせて,著者らのデータは,ルチルTiO_2膜のキャリア移動度が双結晶粒界によって影響されることを示した。大角度双結晶粒界は,ルチルTiO_2膜のキャリア移動度を著しく悪化させた。反対に,低角度双結晶粒界はルチルTiO_2膜のキャリア移動度にほとんど影響しなかった。Copyright 2019 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ルチル ,  電子移動 ,  スパッタリング ,  制限視野回折 ,  直流 ,  *キャリア移動度 ,  センサ ,  双結晶 ,  *結晶粒界 ,  高温
準シソーラス用語： 電子移動度 ,  二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 二酸化チタン膜 ,  ルチル ,  粒界 ,  キャリア移動度

分類 (1件)： 溶接技術  (WC07030G)

タイトルに関連する用語 (3件)： ルチル ,  キャリア移動度 ,  結晶粒界