文献

J-GLOBAL ID：201902280556671812   整理番号：19A2185326

フレキシブルなAZO/Ag/AZO透明導電膜の特性に対する成膜温度による影響

Deposition Temperature Effect on the Character of Flexible AZO/Ag/AZO Transparent Conductive Film

著者 (4件)： 日高輝 (鹿児島工業高等専門学校機械・電子システム工学専攻) ,  吉村幸雄 (鹿児島県工業技術センター地域資源部シラス研究開発室) ,  萬膳一成 (鹿児島工業高等専門学校機械・電子システム工学専攻) ,  新田敦司 (鹿児島工業高等専門学校電子制御工学科)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 62  号： 7  ページ： 443-447(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近,フレキシブルデバイスに用いられる透明導電膜が研究されている。透明導電膜材料として一般的に使用されている酸化インジウムスズは,優れた電気的および光学的特性を有している。しかし,柔軟性が低い。著者らのグループは,柔軟で高導電性のAZO/Ag/AZO多層膜に焦点を合わせている。AZO/Ag/AZO多層膜の一つの欠点は,AZO/Ag界面での相互拡散が光学特性に影響することである。本研究では,各層への堆積温度の影響を検討した。室温でAgを堆積すると,Agへの酸素拡散が抑制され,多層膜の透過率が改善された。その結果,抵抗率1.15×10^ー4Ωcm,平均透過率80.2%のAZO/Ag/AZO多層膜が得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フレキシブル基板 ,  *透明導電膜 ,  柔軟性 ,  *酸化亜鉛 ,  *銀 ,  *多層膜 ,  相互拡散 ,  室温 ,  拡散 ,  透過率 ,  電気抵抗率 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  電子ビーム蒸着 ,  ポリエチレンナフタレート
準シソーラス用語： *AZO ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  フレキシブルデバイス ,  光透過率 ,  酸素拡散

著者キーワード (8件)： AZO/Ag/AZO ,  フレキシブル透明導電膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  電子ビーム蒸着 ,  AZO/Ag/AZO ,  フレキシブル透明導電膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  電子ビーム蒸着

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (19件)：

• 1) X. Shen, M. Yang, C. Zhang, Z. Qiao, H. Wang and C. Tang : Superlattices Microstruct. 123, 251 (2018).
• 2) U. Betz, M. Kharrazi Olsson, J. Marthy, M.F. Escola and F. Atamny : Surf. Coat. Tech. 200, 5751 (2006).
• 3) F. Li, Y. Zhang, C. Wu, Z. Lin, B. Zhang and T. Guo : Vacuum 86, 1895 (2012).
• 4) Y. Xia, P. Wang, S. Shi, M. Zhang, G. He, J. Lv and Z. Sun : Ceram. Int. 43, 4536 (2017).
• 5) B. Sun, X. Zhang, G. Zhou, T. Yu, S. Mao, S. Zhu, Y. Zhao and Y. Xia : J. Colloid Interface Sci. 520, 19 (2018).

タイトルに関連する用語 (4件)： Azo ,  Ag ,  透明導電膜 ,  成膜温度