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J-GLOBAL ID：201902280767403006   整理番号：19A1415351

種々の基板上の非平衡大気圧プラズマジェットの衝撃力の測定【JST・京大機械翻訳】

Measurement of the impact force of a nonequilibrium atmospheric pressure plasma jet on various substrates

著者 (3件)： Li C. (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China) ,  Pei X. (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China) ,  Lu X. (State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, Hubei 430074, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 121  号： 20  ページ： 203305-203305-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる基板上の大気圧非平衡プラズマジェットの衝撃力を,0.98μNの分解能を持つ電子天秤を用いて測定した。衝撃力に及ぼす基板材料,印加電圧振幅の振幅,ガス流量,ノズルと基板間の距離の影響を調べた。荷電粒子により誘起された衝撃力は数百μN以上の数μNの範囲にあることが分かった。推力は印加電圧の増加とともに直線的に増加し,ノズルと基板間の距離の増加とともに減少した。一方,ガス流量と材料の基板は推力に対してより複雑な影響を持つ。最後に,プラズマプルームの電場は基板に到達すると測定した衝撃力から推定でき,シミュレーション結果と良く一致することが分かった。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  電場 ,  分解能 ,  推力 ,  *基板 ,  *非平衡状態 ,  荷電粒子
準シソーラス用語： プラズマプルーム ,  ガス流量 ,  印加電圧 ,  基板材料 ,  電子天秤 ,  大気圧非平衡プラズマ ,  *衝撃力 ,  *大気圧プラズマジェット , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 粉体工学  (XD03010M) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  破壊力学一般  (HC04010A) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 非平衡 ,  大気圧プラズマジェット ,  衝撃力