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J-GLOBAL ID：201902281377648356   整理番号：19A2090852

プラズマ洪水銃による高真空下の静電電荷の中和【JST・京大機械翻訳】

Neutralization of Electrical Static Charge under High Vacuum by Plasma Flood Gun

著者 (4件)： Nagao Tomokazu (NISSIN ION EQUIPMENT CO. LTD., Shiga, Japan) ,  Takahashi Genki (NISSIN ION EQUIPMENT CO. LTD., Shiga, Japan) ,  Inouchi Yutaka (NISSIN ION EQUIPMENT CO. LTD., Shiga, Japan) ,  Tatemichi Junichi (NISSIN ION EQUIPMENT CO. LTD., Shiga, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IIT  ページ： 334-337  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高真空下でのGene5.5と6.0FPD処理のためのNISSINインプランター「IG5」と「IG6」のためのプラズマ洪水銃(PFG)を開発した。このPFGは,フィラメント陰極を有するマルチカスプ型アークチャンバーを含んでいる。それは低供給キセノン(Xe)ガスを用いてイオンと電子を生成する。本論文では,高真空条件下でのPFGによる絶縁体上の正および負電荷の中和を調べた。前に+1または-1kVまで上昇した絶縁体板上のAlシートの電位は,PFGによりそれぞれ0.3および1.2秒で-0.005kVに中和された。また,PFGによる絶縁体の前面と背面における正と負の電荷対の中和を報告した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *電荷 ,  *高真空 ,  絶縁体 ,  フィラメント ,  負電荷 ,  アルミニウム ,  カソード ,  電位 ,  *プラズマ ,  イオン ,  *洪水
準シソーラス用語： 絶縁板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  洪水 ,  銃 ,  高真空 ,  中和