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J-GLOBAL ID：201902281558405346   整理番号：19A2581329

一定周波数パラメータで励起したマイクロマシンジャイロスコープ駆動制御方式を採用した。【JST・京大機械翻訳】

MEMS gyroscopes parametric excitation control scheme with constant resonant frequency

著者 (5件)： Lin Yiyu (浙江大学微小衛星研究中心,浙江杭州,310027) ,  Zheng Xudong (浙江大学微小衛星研究中心,浙江杭州,310027) ,  Wu Haibin (浙江大学微小衛星研究中心,浙江杭州,310027) ,  Ma Zhipeng (浙江大学微小衛星研究中心,浙江杭州,310027) ,  Jin Zhonghe (浙江大学微小衛星研究中心,浙江杭州,310027)
資料名： Zhejiang Daxue Xuebao. Gongxue Ban  (Zhejiang Daxue Xuebao. Gongxue Ban)
巻： 53  号： 9  ページ： 1795-1804  発行年： 2019年 
JST資料番号： W1536A  ISSN： 1008-973X  CODEN： ZDXGFS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 一定共振周波数とパラメトリック励起に基づくマイクロマシン(MEMS)ジャイロスコープ駆動制御スキームを提案した。このスキームは三角形ゲートコンデンサを用いて実現し、ジャイロ駆動共振周波数と品質因子を環境変動下で一定に保ち、ジャイロの温度敏感性を改善する。三角形ゲートコンデンサに基づく周波数同調とパラメトリック励起理論を紹介し、新型の一定共振周波数とパラメトリック励起駆動方案を提案し、実現した。シミュレーション結果により,ジャイロスコープ駆動モードのリアルタイム同調は,共振周波数を一定にし,そして,パラメトリック励起は,駆動モードを安定化した。実験結果は,提案した方式によって測定されたジャイロスコープのAllan分散バイアス不安定性が1.69°/hであり,従来の方式より優れていて,冷却プロセスにおけるゼロ偏温ドリフトが伝統的方式より50%少ないことを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度感受性 ,  *マイクロマシン ,  MEMS ,  同調 ,  共振周波数 ,  *ジャイロスコープ ,  バイアス ,  ドリフト ,  不安定性 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： Allan分散 ,  実時間 ,  周波数同調 ,  品質因子 ,  パラメトリック励振 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (4件)： パラメータ ,  励起 ,  駆動制御 ,  採用