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J-GLOBAL ID：201902281570071102   整理番号：19A2665126

走査型Electron顕微鏡とエネルギー分散X線分析に基づく薄膜の厚さの決定【JST・京大機械翻訳】

Determination of the Thickness of Thin Films Based on Scanning Electron Microscopy and Energy Dispersive X-Ray Analysis

著者 (5件)： Sokolov S. A. (Moscow State University, Moscow, Russia) ,  Sokolov S. A. (Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Milovanov R. A. (Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Milovanov R. A. (Moscow Technological University, Moscow, Russia) ,  Sidorov L. N. (Moscow State University, Moscow, Russia)
資料名： Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques  (Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques)
巻： 13  号： 5  ページ： 836-847  発行年： 2019年 
JST資料番号： W4669A  ISSN： 1027-4510  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： このレビューは,走査電子顕微鏡とエネルギー分散X線分析に基づく薄膜の厚さの非破壊決定の最新技術に関するものである。これらの方法による薄膜の厚さを決定するための一般的なアプローチを,詳細な特定技術,それらの利点と欠点に沿って記述した。Copyright 2019 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *走査 ,  *薄膜 ,  *X線分析 ,  *エネルギー散逸 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察

著者キーワード (4件)： エネルギー分散X線分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  薄膜 ,  モンテカルロシミュレーション

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 走査型 ,  顕微鏡 ,  エネルギー分散 ,  X線分析 ,  薄膜 ,  厚さ