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J-GLOBAL ID：201902282346164748   整理番号：19A2660485

マスフローコントローラの最近の動向 高速応答サーマルマスフローコントローラ

著者 (1件)： 中村篤志 (リンテック)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 47  号： 12  ページ： 35-39  発行年： 2019年11月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿では,高速応答熱式マスフローコントローラ「MC-7000」を紹介。
・MC-7000の10の特徴の内,200msec以下の高速応答,周囲温度+30~40°Cの低温センサ,反応性ガスの適用可能や少ない経時変化,低センサ差圧,従来コンバージョンファクタの使用が可能,の5つを説明。
・残りの特徴として,真空/加圧条件での使用可能,微小流量にも対応,高速制御実現のためダイヤフラムピエゾバルブの採用,24V単電源動作,汎用通信対応,の5つの特徴を記述。
・MC-7000の特性データとして,高速応答特性,簡単センサ構造とダイヤフラムピエゾバルブ採用による良好なガス置換特性,および優れた繰返し再現性について言及。

シソーラス用語： 流量計 ,  センサ ,  低温 ,  気体 ,  経時変化 ,  *制御装置 ,  補正 ,  圧力 ,  小規模 ,  *流量制御 ,  通信方式 ,  応答 ,  可制御性 ,  再現性
準シソーラス用語： ガス置換特性 ,  コンバージョン・ファクター ,  マスフローコントローラ ,  高速応答 ,  熱式流量計 ,  反応ガス

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (3件)： マスフローコントローラ ,  動向 ,  高速応答