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J-GLOBAL ID：201902282396978758   整理番号：19A2274397

酸化窒化チタン/ZnS薄膜中のZnTiO_3ナノ構造のX線吸収分光法による同定【JST・京大機械翻訳】

Identification of ZnTiO₃ nanostructures in oxidized TiN/ZnS thin films using X-ray absorption spectroscopy

著者 (7件)： Lee Minji (IPIT & Department of Physics, Chonbuk National University, Jeonju 54896, Republic of Korea) ,  Mohamed Ahmed Y. (IPIT & Department of Physics, Chonbuk National University, Jeonju 54896, Republic of Korea) ,  Kim Doyeong (IPIT & Department of Physics, Chonbuk National University, Jeonju 54896, Republic of Korea) ,  Kim Dae Hyun (Department of Advanced Materials Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea) ,  Park Tae Joo (Department of Advanced Materials Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea) ,  Park Tae Joo (Department of Materials Science and Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan 15588, Republic of Korea) ,  Cho Deok-Yong (IPIT & Department of Physics, Chonbuk National University, Jeonju 54896, Republic of Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 494  ページ： 63-71  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線吸収分光法(XAS)を用いて,酸化窒化チタン/ZnS及び窒化チタン/ZnO薄膜の化学的及び局所的構造特性を調べた。複合膜を,種々の酸素分圧(P(O_2))下で,蒸着後アニーリング(PDA)により酸化した。X線吸収端近傍構造(XANES)分析の結果は,SとNが蒸発し,酸素雰囲気下でアニールしたとき,チタン酸亜鉛(ZnTiO_3)様相が形成されることを示した。拡張X線吸収微細構造(EXAFS)分析だけでなくab initio XANESシミュレーションにより,ZnTiO_3様相の局所構造を,イルメナイト状またはペロブスカイト様局所構造のような高対称構造に分解した。例えば,P(O_2)=2Torrでアニールした窒化チタン/ZnS膜の局所構造は,50%チタン鉄鉱ZnTiO_3+30%ペロブスカイトZnTiO_3+20%ウルツ鉱ZnO局所構造の混合物として記述できた。ZnTiO_3様局所構造の形成は,PDA中の温度または底層(ZnSまたはZnO)の選択にも影響された。窒化チタン/ZnSからZnTiO_3の局所構造相変態の温度は,P(O_2)=2Torrで500~600°Cと推定され,底層としてのZnOは,酸素を窒化チタンに供給することにより,そのような局所構造進化を明らかに促進した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *酸化 ,  複合膜 ,  酸素 ,  *薄膜 ,  対称性 ,  XANES ,  酸化亜鉛 ,  シミュレーション ,  *硫化亜鉛 ,  焼なまし ,  蒸着 ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： 局所構造 ,  酸素分圧 ,  *窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： X線吸収分光法 ,  ZnTiO_3 ,  チタン酸 ,  窒化チタン ,  ZnS ,  堆積後アニーリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化 ,  窒化チタン ,  ZnS ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  X線吸収分光法 ,  同定