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J-GLOBAL ID：201902283120079981   整理番号：19A1291788

金属-有機化学蒸着反応キャビティのためのマルチプロセスパラメータの安定性解析【JST・京大機械翻訳】

Stability Analysis of Multi Process Parameters for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Reaction Cavity

著者 (8件)： Li Jian (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 51006, China) ,  Li Jian (Foshan Research Institute of Sun Yat-sen University, Foshan 528225, China) ,  Wu Ziling (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 51006, China) ,  Xu Yifeng (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 51006, China) ,  Xu Yifeng (Foshan Research Institute of Sun Yat-sen University, Foshan 528225, China) ,  Pei Yanli (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 51006, China) ,  Wang Gang (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 51006, China) ,  Wang Gang (Foshan Research Institute of Sun Yat-sen University, Foshan 528225, China)
資料名： Molecules (Web)  (Molecules (Web))
巻： 24  号： 5  ページ： 876  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7014A  ISSN： 1420-3049  CODEN： MOLEFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属化学蒸着(MOCVD)プロセスのパラメータは,ZnO膜の特性,特に,反応室の形状,作動圧力,成長温度,サセプタ回転速度,ガス流量,および入口温度におけるキャリアガスの性質などのプロセスパラメータによって引き起こされるチャンバーの流れ安定性に著しく影響する。これらのパラメータは高品質膜形成の前提条件である。従って,本研究では,Arをキャリアガスとして,ジエチル亜鉛(DEZn)をZn源とし,H2Oを酸素源として用い,10のガス反応と8つの表面反応を含む量子化学により計算した反応機構を採用した。特定の反応チャンバーモデルのプロセスパラメータを,計算流体力学法に基づいて分析した。本研究では,大量のシミュレーションデータの解析に基づいて,追加実験なしで,運転条件下での反応器チャンバ内の流れ様式の正確な予測も示した。このような研究は,生産に関連する成長パラメータを選択するためにも重要であり,特定のプロセス成長ウインドウを提供し,デバッギング範囲を狭くし,MOCVD装置とプロセスデバッギングの開発のための理論的基礎を提供する。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 亜鉛 ,  反応機構 ,  MOCVD ,  *プロセスパラメータ ,  反応器 ,  シミュレーション ,  *パラメータ ,  酸化亜鉛 ,  アルゴン ,  形態 ,  デバッギング ,  キャリアガス ,  酸素
準シソーラス用語： チャンバ ,  ガス流量 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MOCVD ,  フィルム成長 ,  プロセスパラメータ ,  CFD ,  安定な流れ

分類 (2件)： 医用素材  (GA05040H) ,  薬物の相互作用  (GV01070X)

引用文献 (42件)：

• Liu, Y.; Li, Z.; Zhi, Y.; Su, Y.; Zhang, Y.; Hwang, H.L.; Duan, F.; Zhang, Y. Novel design and performance of the solidly mounted resonator with an AlN-buffered ZnO piezoelectric film. Vacuum 2018, 154, 11-17.
• Qi, H.; Pang, J.; Yang, Z.; Wang, J.; Ma, L.; Schmidt, O.G. Boosting the Photoluminescence of Monolayer MoS2 on High-Density Nanodimer Arrays with Sub-10 nm Gap. Adv. Opt. Mater. 2017.
• Pang, J.; Bachmatiuk, A.; Yin, Y.; Trzebicka, B.; Rummeli, M.H. Applications of Phosphorene and Black Phosphorus in Energy Conversion and Storage Devices. Adv. Ener. Mater. 2018, 8, 1702093.
• Vorobyeva, N.A.; Rumyantseva, M.N.; Vasiliev, R.B.; Kozlovskiy, V.F.; Soshnikova, Y.M.; Filatova, D.G.; Zaytsev, V.B.; Zaytseva, A.V.; Gaskov, A.M. Doping effects on electrical and optical properties of spin-coated ZnO thin films. Vacuum 2015, 114, 198-204.
• Gröttrup, J.; Postica, V.; Smazna, D.; Hoppe, M.; Kaidas, V.; Mishra, Y.K.; Lupan, O.; Adelung, R. UV detection properties of hybrid ZnO tetrapod 3-D networks. Vacuum 2017, 146, 492-500.

タイトルに関連する用語 (6件)： 有機化学 ,  蒸着 ,  キャビティ ,  マルチ ,  プロセスパラメータ ,  安定性解析