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J-GLOBAL ID：201902283282141651   整理番号：19A1095279

CVD法によるMoS₂ナノチューブの合成

著者 (5件)： 島田敏宏 (北大 工) ,  後藤真菜美 (北大 工) ,  張美斉 (北大 工) ,  柳瀬隆 (北大 工) ,  長浜太郎 (北大 工)
資料名： 日本表面真空学会東北・北海道支部学術講演会講演予稿集
巻： 2018  ページ： 39  発行年： 2019年 
JST資料番号： F1026A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： MoS2をはじめとする2次元物質の薄膜成長にはCVDが有効である。我々は、CVDの制御性を高めるため、原料を別々に気化させ、反応領域で混合する方法を用いている。本発表では、触媒ナノ粒子を用いたナノチューブ成長について報告する。カーボンナノチ...【本文一部表示】

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *硫化モリブデン ,  *ナノチューブ ,  触媒 ,  ナノ粒子 ,  酸化第一鉄 ,  薄膜成長
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】 ,  *二硫化モリブデン ,  VS成長

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： CVD法 ,  MoS2 ,  ナノチューブ