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J-GLOBAL ID：201902284221021680   整理番号：19A1997961

ヘリコン高密度プラズマのレビュー 生成機構とプラズマ/波動特性

Review of Helicon High-Density Plasma: Production Mechanism and Plasma/Wave Characteristics

著者 (3件)： ISAYAMA Shogo (Department of Physics, National Central University) ,  SHINOHARA Shunjiro (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology) ,  HADA Tohru (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University)
資料名： Plasma and Fusion Research (Web)  (Plasma and Fusion Research (Web))
巻： 13  ページ： 1101014(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0045A  ISSN： 1880-6821  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ヘリコンプラズマは,ヘリコン波すなわち境界を有する配位における電磁的ホイスラ波を利用することにより,高密度で低温のプラズマを発生できる高周波プラズマ源の一つである。ヘリコンプラズマは,高密度プラズマをきわめて効率的に生成できるため,様々な応用に非常に有用である。逆に,ヘリコンプラズマを実験室で効率的に生成する方法,密度最大値を決定する要因に関して多くの未解決の物理的問題が残されている。過去数十年のヘリコン研究により,「Trivelpiece-Gould」波が効率的な電力吸収の原因であることが明らかとなった。近年線形磁化ヘリコンプラズマ源を用いることにより,ドリフト波型とパラメトリック崩壊不安定性が広く研究されている。現在のヘリコン研究は,これらの非線形効果を考慮している。従って,それは産業と研究分野の両方に多大な寄与を与える。ヘリコン生成の機構を,いくつかの重要な物理的問題に基づいて考察した。さらに,ヘリコンプラズマのより洗練された物理モデルを構築するためのいくつかの最近の話題と努力を強調した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ヘリコン ,  *電磁波伝搬 ,  *プラズマ生成 ,  電磁波吸収 ,  ドリフト波 ,  パラメトリック不安定性 ,  崩壊不安定性 ,  不安定性 ,  プラズマ波 ,  *プラズマ源 ,  プラズマ振動
準シソーラス用語： Trivelpiece-Gould波 ,  ドリフト波不安定性 ,  プラズマ電磁波伝搬 ,  *ヘリコンプラズマ

著者キーワード (6件)： ヘリコンプラズマ ,  ヘリコン波 ,  TG波 ,  中性枯渇 ,  ドリフト波不安定性 ,  パラメトリック崩壊不安定性

分類 (5件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ中の電磁波  (BJ02032F) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (303件)：

• [1] R.W. Boswell, Plasma Phys. Control. Fusion 26, 1147 (1984).
• [2] F.F. Chen, Plasma Phys. Control. Fusion 33, 339 (1991).
• [3] S. Shinohara and H. Mizokoshi, Rev. Sci. Instrum. 77, 036108 (2006).
• [4] S. Shinohara et al., Phys. Plasmas 16, 057104 (2009).
• [5] S. Shinohara, J. Plasma Fusion Res. 78, 5 (2002).

タイトルに関連する用語 (6件)： ヘリコン ,  高密度プラズマ ,  レビュー ,  プラズマ ,  波 ,  動特性