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J-GLOBAL ID:201902284363846254   整理番号:19A2603684

楕円曲げ硬X線ミラーのための層流屈曲曲げ機構の有限要素モデリング【JST・京大機械翻訳】

Finite element modeling of a laminar flexure bending mechanism for elliptically bent hard x-ray mirror
著者 (10件):
資料名:
巻: 11100  ページ: 111000B-9  発行年: 2019年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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コンパクトな層流過剰拘束曲げ機構と容量センサアレイを用いて,300mm長さの硬X線ミラーのための精密なコンパクトなミラー曲げ機構を設計し,先進フォトンソースにおけるArgonne研究開発プロジェクトの一部としてX線ズーム光学のための初期試験を実行するために構築した。ミラーベンダの有限要素モデル(FEM)を商用シミュレーションソフトウェアで作成した。シミュレーションの反復プロセスを実行し,曲げ機構に対する正確な曲げパラメータを予測した。FEMシミュレーションにより,ミラーの測定長さの86%以上で±20nm以内の望ましい楕円形ミラープロファイルに適合する楕円曲げ台形鏡表面の結果を実証した。本論文では,モデル精密化の反復過程,有限要素シミュレーションの結果,および容量センサアレイの予備試験について議論した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  光学器械要素とその材料 

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