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J-GLOBAL ID:201902284925266718   整理番号:19A1415441

メニスカス閉込め電着を用いたマイクロ/ナノスケールでの金属印刷のマルチ物理シミュレーション:ノズル速度と直径の影響【JST・京大機械翻訳】

Multi-physics simulation of metal printing at micro/nanoscale using meniscus-confined electrodeposition: Effect of nozzle speed and diameter
著者 (8件):
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巻: 121  号: 21  ページ: 214305-214305-10  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Meniscus制限電着(MCED)は,マイクロ/ナノスケールでの金属の3D印刷のための溶液ベースの室温プロセスである。このプロセスにおいて,ノズルと基板の間のメニスカス(液体ブリッジまたは毛細管)は,電着,流体力学,質量および熱伝達の多重物理を含む局所電着プロセスを支配する。MCEDプロセスにおけるノズル速度(v_N)とノズル直径(D_0)の影響を調べるために,多物理有限要素(FE)モデルを開発した。シミュレーション結果を実験データで検証した。理論的アプローチと実験的観察に基づいて,堆積ワイヤの直径はノズル直径の0.5~0.9倍の範囲にあった。種々のノズル直径に対するv_Nの適用範囲を計算した。結果は,全フラックスへの移動フラックスの寄与は調べた範囲(100nm~5μm)においてピペット直径の全ての値に対してほぼ一定(~50%)であるが,全フラックスへの拡散と蒸発フラックスの寄与はピペット直径の増加と共にそれぞれ増加し減少することを示した。この多物理研究の結果は,最適プロセス条件の実験を導くために使用できる。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (5件):
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プラズマ応用  ,  流体式制御機器  ,  ネマチック相  ,  プラズマ装置  ,  原子・分子のクラスタ 

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