文献

J-GLOBAL ID：201902285284301133   整理番号：19A1060946

位相シフト干渉計における位相誤差の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Phase Error in Phase-Shifting Interferometer

著者 (1件)： Takahashi Yoshitaka (Gunma University, Division of Molecular Science, Graduate School of Science and Technology, Gunma, Japan)
資料名： Applied Mechanics and Materials  (Applied Mechanics and Materials)
巻： 888  ページ： 11-16  発行年： 2019年 
JST資料番号： W3695A  ISSN： 1660-9336  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相シフト干渉測定は,高精度で位相を測定できるので広く使われている。PZT変換器による光路長の変化とレーザダイオード(LD)による光源の周波数の変化は,干渉計におけるアーム間の所望の位相シフトを適用するための2つの一般的な方法である。しかし,任意の場合において,望ましいシフトを正確に適用することは容易でなく,測定誤差が発生しない。誤差を低減するために,位相シフト誤差の影響を,特にLDの場合について数値的に解析した。Copyright 2019 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 変換器 ,  測定誤差 ,  半導体レーザ ,  アーム ,  *位相 ,  *干渉計 ,  光源 ,  *位相シフト
準シソーラス用語： 光路長 ,  高精度 ,  位相シフト干渉法 ,  *位相誤差 ,  *位相シフト干渉計 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 干渉計 ,  位相シフト干渉計 ,  周波数変調LD

分類 (2件)： 気象学一般  (DC05010D) ,  水文学一般  (DC07010R)

タイトルに関連する用語 (2件)： 位相シフト干渉計 ,  位相誤差