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J-GLOBAL ID:201902287261304190   整理番号:19A0203709

電気キャパシタ用の誘電特性を持つ多層ナノ構造ペロブスカイト薄膜の化学合成【JST・京大機械翻訳】

Chemical Synthesis of Multilayered Nanostructured Perovskite Thin Films with Dielectric Features for Electric Capacitors
著者 (14件):
資料名:
巻:号:ページ: 915-921  発行年: 2018年 
JST資料番号: W5033A  ISSN: 2574-0970  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノ構造SrTiO_3(STO)とBaTiO_3(BTO)層から成る多層ハイブリッド薄膜の調製のための簡単なゾル-ゲル法を報告した。STOのナノポーラス薄膜を,Si/SiO_2/Ti/Pt基板上のスピンコーティング法によって調製した。BTOを処理すると,BTOはSTO結晶細孔間で結晶化する。STOとBTO表面の間の界面に顕著な歪場が誘起された。ナノ細孔の凹形は,STO/BTOから成る高度に歪んだ界面ヘテロ構造の実現を可能にした。ナノ構造STO,BTO,及び二層STO/BTO膜と比較して,多層STO/BTO膜は約280°Cで最高の誘電率と高いCurie温度(T_c)を示し,これは電気キャパシタ応用に適している。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性 

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