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J-GLOBAL ID：201902287309373515   整理番号：19A1676699

パラメータ励振法に基づくMEMSジャイロスコープのフィードフォワード制御方法【JST・京大機械翻訳】

Electrical feed-through suppressing method for MEMS gyroscope based on parametric excitation

著者 (4件)： Zhang Xiaofeng (蘇州大学 微納伝感技術研究中心,江蘇 蘇州,215006) ,  Zhao Heming (蘇州大学 微納伝感技術研究中心,江蘇 蘇州,215006) ,  Qian Lei (蘇州大学 微納伝感技術研究中心,江蘇 蘇州,215006) ,  Xu Dacheng (蘇州大学 微納伝感技術研究中心,江蘇 蘇州,215006)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 38  号： 5  ページ： 20-22  発行年： 2019年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)ジャイロスコープ駆動電極と誘導電極の間に寄生容量があり、駆動信号の電気フィードスルーを招き、ジャイロスコープの感度を制約し、新型駆動方式ーパラメータ励起法を用いて、ジャイロの剛性を有効に変えることができる。シミュレーションにより,励起信号のパラメータ(周波数,振幅および位相)を調節することによって,制御可能な方法で,電気供給を,著しく減少させることができた。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *フィードフォワード制御 ,  *パラメータ ,  *MEMS ,  駆動方式 ,  剛性 ,  漂遊容量 ,  電力供給 ,  *ジャイロスコープ ,  位相 ,  励起
準シソーラス用語： フィードスルー ,  *MEMSジャイロスコープ ,  *パラメトリック励振 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (3件)： パラメータ励振 ,  MEMSジャイロスコープ ,  フィードフォワード制御