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J-GLOBAL ID:201902287328470464   整理番号:19A1771744

無ドープ1T DRAM 提案,設計,解析【JST・京大機械翻訳】

Dopingless 1T DRAM: Proposal, Design, and Analysis
著者 (2件):
資料名:
巻:ページ: 88960-88969  発行年: 2019年 
JST資料番号: W2422A  ISSN: 2169-3536  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,電荷プラズマの概念を利用したドープなしの1T DRAM(DL-DRAM)を提案した。提案したデバイスは,二つの論理状態の間で正孔を保存し,微分するために,ミスアラインメント二重ゲートアーキテクチャを採用した。ソース,ドレイン,バックゲート,及びフロントゲートの仕事関数を最適化し,固有のシリコン体内の必要な濃度分布を達成した。TCADシミュレーションを用いて,素子中の読取/書込み機構を解析した。著者らの研究は,読み取り操作中の電流輸送の機構が,ソースの仕事関数に強く依存することを示した。ソース仕事関数が4.5eV未満であるとき,読み取りの間の輸送機構はドリフト拡散によって支配される。しかし,ソース仕事関数が4.5eVより大きいとき,読取の間の輸送機構はバンド間トンネリング(BTBT)によって支配される。一般的に,電流輸送の支配的な機構がBTBTであるとき,保持時間と読取-1/0電流比はより高く,電流輸送の支配的機構がドリフト-拡散である場合には,センスマージンはより低い。ドーピングの回避により,提案されたDL-DRAMはランダムなドーパントゆらぎから自由であることが期待される。さらに,イオン注入後に必要な高温アニーリング過程を避けることができた。DL-DRAMのより低い熱要求は,バイオ材料とオプトエレクトロニクスに適合し,3D VLSI集積におけるボトムMOSFETと相互接続保存を確実にするプロセスを用いてDRAMを作製する可能性を開く。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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信号理論 
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