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J-GLOBAL ID：201902288126931589   整理番号：19A1373150

レーザ応用加工の最前線 フェムト秒レーザによる硬質膜へのナノ周期構造形成

著者 (3件)： 千徳英介 (福井工高専) ,  安丸尚樹 (福井工高専) ,  峠正範 (広島商船高専)
資料名： 素形材
巻： 60  号： 6  ページ： 2-8  発行年： 2019年06月20日 
JST資料番号： S0824A  ISSN： 0910-1985  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・硬質膜,特にTiN,CrNおよびDLC膜へのフェムト秒レーザを用いたナノ周期構造の形成を紹介。
・TiNおよびCrN膜へのナノ周期構造の形成に関し,照射条件,偏光の影響,フルエンスの影響,および材料の影響を説明。
・DLC膜へのナノ周期構造の形成に関し,表面改質と水素含有量の影響について解説。
・加工面の大面積化とトライボロジー特性について説明。

シソーラス用語： *皮膜 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  クロム化合物 ,  DLC膜 ,  *セラミック膜 ,  *レーザ加工 ,  周期構造 ,  ナノ構造 ,  窒化クロム ,  窒化チタン ,  *硬質皮膜
準シソーラス用語： *硬質膜

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

引用文献 (18件)：

• Gregory Ryk et al.: piston rings with partial laser surface texturing for friction reduction, Wear, No.261 (2006), pp.792-796
• 熊田喜生 他:円周方向にマイクログルーブをもつ すべり軸受の特性,トライボロジスト,Vol.43, No.6 (1998),pp456-461.
• 梅原徳次 他:表面マイクロパターニングによるトライボロジー特性の改良,機械の研究,Vol.60, No.8 (2008),pp.843-849.
• A. M. Ozkan et al.: Femtosecond laser-induced periodic structure writing on diamond crystals and microclusters, Applied Physics Letter, 75 (1999), p.3716-3718.
• 橋田昌樹 他:フェムト秒レーザへの産業界での期待 フェムト秒レーザ加工,JIEE Japan, Vol.122, No.11 (2002),pp.749-753.

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ応用 ,  フェムト秒レーザ ,  硬質膜 ,  周期構造