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J-GLOBAL ID：201902288460033122   整理番号：19A0036765

ポリイミドベースのピエゾ抵抗マイクロカンチレバーバイオセンサを用いたアブリンの検出【JST・京大機械翻訳】

Detection of Abrin Using a Polymide-based Piezoresistive Microcantilever Biosensor

著者 (3件)： Wang Yang (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Tian Yuan (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Yu Xiaomei (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Peking University, Beijing, 100871, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ICSICT  ページ： 1-3  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固有のピエゾ抵抗効果を有する従来のシリコンベースのマイクロカンチレバーは高感度であるが,その高い弾性係数のために,実用化において破壊されやすい。本論文では,単結晶シリコン圧電抵抗体の上部絶縁体として,Young率が酸化ケイ素の約1/10に過ぎない柔軟なポリイミド(PI)層を有するピエゾ抵抗マイクロカンチレバーを開発した。ポリイミドベースのピエゾ抵抗マイクロカンチレバーをSOIウエハ上に作製し,リン酸塩緩衝食塩水(PBS)溶液中で作製したマイクロカンチレバーの実験出力電圧変動は3Vバイアス電圧供給で2μV以内であった。最後に,マイクロカンチレバーの上部金表面上の抗abrin PcAbを修飾することにより,30ng/mL(0.01M)の検出限界で,abrin毒素の高感度検出を実現した。作製プロセスがCMOSと互換性があるという事実により,SOI CMOS回路とピエゾ抵抗マイクロカンチレバーバイオセンサをモノリシックに集積する有望な可能性を提供した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： CMOS ,  圧抵抗効果 ,  高感度 ,  互換性 ,  リン酸塩 ,  *ポリイミド ,  検出限界 ,  酸化ケイ素 ,  絶縁体 ,  ケイ素 ,  バイアス ,  *バイオセンサ
準シソーラス用語： 単結晶シリコン ,  *マイクロカンチレバー ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： ポリイミド ,  ピエゾ抵抗 ,  アブリン