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J-GLOBAL ID：201902288616876364   整理番号：19A0593248

シリコンナノワイヤ電気伝導特性計測を目指したTEM-STMホルダーの開発

著者 (2件)： 黒田雄貴 (北陸先端科学技術大学院大) ,  大島義文 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会講演要旨集  (日本表面真空学会学術講演会要旨集)
巻： 2018  ページ： 86  発行年： 2018年11月19日 
JST資料番号： L1308B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *清浄面 ,  *電気伝導 ,  透過型電子顕微鏡 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  工作物保持装置 ,  超高真空 ,  *顕微鏡観察 ,  同時計測 ,  *表面構造 ,  *ケイ素 ,  電圧 ,  *シリコンナノワイヤ ,  *電気伝導度測定 ,  *構造
準シソーラス用語： STM【顕微鏡】 ,  TEM【顕微鏡】 ,  電圧印加 ,  *電気伝導度計測

分類 (3件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコンナノワイヤ ,  電気伝導特性 ,  計測 ,  TEM ,  STM ,  開発