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J-GLOBAL ID：201902288840712366   整理番号：19A1374639

GISAXSによるペンタセン製膜中の表面形態評価(III)

著者 (5件)： 廣沢一郎 (高輝度光科学研究セ) ,  渡辺剛 (高輝度光科学研究セ) ,  小金澤智之 (高輝度光科学研究セ) ,  菊池護 (岩手大 理工) ,  吉本則之 (岩手大 理工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10a-W810-1  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： [はじめに]表面のroughnessや膜厚ゆらぎ、薄膜中の密度ゆらぎ等を反映した信号が得られる微小角入射X線小角散乱(Grazing-Incidence Small Angle X-ray Scattering: GISAXS)を用いて製膜...【本文一部表示】

シソーラス用語： *小角X線散乱 ,  *ポリアセン ,  モルフォロジー ,  *表面構造 ,  空間 ,  突起部
準シソーラス用語： *微小角入射小角X線散乱 ,  表面形態 ,  逆格子空間 ,  突起物

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

物質索引 (1件)： ペンタセン

タイトルに関連する用語 (5件)： GISAXS ,  ペンタセン ,  製膜 ,  表面形態 ,  評価