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J-GLOBAL ID:201902289353780679   整理番号:19A1332232

サブTHz集積回路応用のための低抵抗シリコン上の多チャネルAlGaN/GaN横方向Schottky障壁ダイオード【JST・京大機械翻訳】

Multi-Channel AlGaN/GaN Lateral Schottky Barrier Diodes on Low-Resistivity Silicon for Sub-THz Integrated Circuits Applications
著者 (6件):
資料名:
巻: 40  号:ページ: 878-880  発行年: 2019年 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,低抵抗率(LR)(σ=0.02Ωcm)シリコン基板上のAlGaN/GaNに基づく新しい多チャネルRF横方向Schottky障壁ダイオード(SBD)を提示した。開発した技術は,従来の横方向SBDと比較して,Schottky障壁高さΦ_nを低下させた結果,開始電圧の37%,V_ON(1.34から0.84Vまで),およびON抵抗の36%,R_ON(1.52から0.97からΩmm)の減少を提供した。逆破壊電圧および逆バイアス漏れ電流性能における妥協は,多チャネルおよび従来の技術の両方が,それぞれ(V_BV>30V)のV_BVおよび(I_R<38μA/mm)のI_Rを示したので,観察されなかった。さらに,正確な小信号等価回路モデルを開発し,110GHzまでの周波数に対して検証した。作製した素子は0.6THzまでのカットオフ周波数を示し,高効率,高周波集積回路応用のためのLRシリコン上への横AlGaN/GaN SBDの利用可能性を実証した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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